Explorer電子ビーム、マグネトロン、熱蒸発薄膜堆積

Explorerは、電子ビーム（e−beam）蒸発、抵抗蒸発、またはマグネトロンスパッタリングの構成が可能な多機能高真空開発および中間試験生産プラットフォームである。すべての3つの構成の中でイオン支援堆積機能を選択的に配合することができる。Explorerは半手動モードで使用することができ、全自動モードにアップグレードすることもでき、ワンタッチで操作を自動化することで、システムのダウンタイムを削減することができます。

用途：
光学めっき膜の特性評価と設計半導体装置の開発CIGSと高級材料の研究

ハイエンド電子顕微鏡サンプルの製造品質保証故障解析

利点：

Explorerは柔軟なチャンバサイズで8インチの基板を収容できる。スパッタリング配置は直流、パルス直流及び無線周波数スパッタリングに適しており、共焦点スパッタリング能力を備えている。金属酸化物及び窒化物遷移モードにおける高速反応性スパッタリングに対する閉ループ制御システムである専有PEM技術を選択することができる。
拡散ポンプ、冷ポンプ、タービンポンプなど、さまざまな真空引き構成を提供しています。ポンプは設備の後部または下部に設置してプロセスの需要を満たすことができ、高速抽気能力を提供して高生産能力の需要を満たすことができます。