弾性率測定器

LAwaveレーザー音響波の原理に基づいてコーティング及び表面を測定する精密測定装置である

応用分野:

ハードモード、半導体材料、薄型ポリマー膜、センサ膜、プラズマスプレー膜

測定データ：

以下の材料の弾性率を測定する

硬質及び超硬型、金属膜、薄型ポリマー膜、低Kゾル膜

バルク材料の弾性率

膜厚

半導体材料の損傷の程度

特徴：無損傷検査

超硬超薄型でも検出可能

面全体を検出し、点ではありません

測定可能膜の範囲は広い：ナノメートルからミリメートルまで

高速信頼性

サンプルに特別な処理は必要ありません

補正不要

機能：

薄膜堆積、コーティング塗装及び完成材料表面のプロセス制御

フィルム及びコーティングの機械的パラメータの正確な測定

膜材料上の微細構造の非破壊評価（結合状況、多孔性、組成など）

表面に垂直な弾性及び密度勾配の測定