サイズ

GB-B120：1200mm（L）×1000mm（W））×900mm（H））

GB-B150：1500mm（L）×1000mm（W））×900mm（H））

GB-B180：1800mm（L）×1000mm（W））×900mm（H））

GB-B2400：2400mm（L）×1000mm（W））×900mm（H））

材料

304ステンレス鋼、厚さ3mm

表面（ひょうめん）処理

内面は糸を引き、外面は射出成形する

まえまど

傾斜窓，透明強化安全ガラス、厚さ8mm

手袋

ブチルゴム，厚さ0.4ミリメートル/ 0.8mm,直径7''

グローブ口

材料はアルミニウム合金、表面防腐処理

フィルター

穴径がより小さい0.3μm，出入口の取り付け

棚

ステンレス材料、内蔵2レイヤー、高さ調整可能

タンク照明

LED の灯（あかり），フロントウィンドウ上部、ランプシェード内に取り付ける

インターーフェース

DN40（KFフランジ）,代替インタフェース数、電源インタフェース1個（220V）

だいせんいしつ

形状

円筒形

サイズ

直径360ミリメートル、長さ600ミリメートル（任意の直径400ミリメートル）

材質

304ステンレス鋼、板厚3ミリメートル

表面（ひょうめん）

内面は油膜の伸線面であり、外面は塗装又は鏡面である

トレイ

スライドトレイ

ハッチ

アルミニウム合金の材質、ようきょくさんか処理、厚み12mm，エアスプリング開力

あつりょくけい

インレット圧力計、機械文字盤表示。

操作

自動操作可能/手動操作

真空度

≤〜0.1Mpa

しょうかんしつ

形状

円筒形

サイズ

直径150ミリメートル、長さ300ミリメートル

材質

304ステンレス鋼、板厚2ミリメートル

表面（ひょうめん）

内面はつや出し面、外面はスプレー成形

トレイ

トランジションルームの配置

ハッチ

アルミニウム合金の材質、ようきょくさんか処理、厚み12mm，エアスプリング開力

あつりょくけい

インレット圧力計、機械文字盤表示。

操作

手動操作

真空度

≤〜0.1Mpa

パージシステム

せいじょうカラム

304ステンレス鋼、肉厚3 mm、

せいじょうざいりょう

銅触媒、モレキュラーシーブ

作用

水を循環させることで酸素を除去する。

ざいりょうきゅうちゃくほうわしょり

水素アルゴン混合ガス（水素5〜10%）を通して再生処理を行った。

じゅんかんファン

0〜80 m³／hは周波数変換により調整される。

せいぎょモード

PLC制御、タッチスクリーン操作

メインパイプバルブ

高真空気動弁（インタフェースKF 40）

さんかすいそしひょう

酸素水＜1 ppm

制御システム

せいぎょモード

PLC制御

操作インタフェース

7インチタッチスクリーン

機能

自己診断、電源オフの自己起動特性、圧力制御と適応機能、自動制御、循環制御、パスワード保護を含む，システムデータの自動記録

主要指標

すいぶん

＜1ppm

酸素含有量

＜1ppm

リーク率

＜0.001vol%/h

その他の主要部品

真空ポンプ