ボックス

サイズ

GB-B120: 1200mm（L）×1000mm（W）×900mm（H）

GB-B150: 1500mm（L）×1000mm（W）×900mm（H）

GB-B180: 1800mm（L）×1000mm（W）×900mm（H）

GB-B2400: 2400mm（L）×1000mm（W）×900mm（H）

材料

304ステンレス鋼、厚さ3 mm

表面処理

内面は糸を引き、外面は射出成形する

まえまど

傾斜窓、透明強化安全ガラス、厚さ8 mm

手袋

ブチルゴム、厚さ0.4 mm/0.8 mm、直径7''

グローブ口

材料はアルミニウム合金、表面防腐処理

フィルター

孔径が0.3μm未満で、出入口を取り付ける

棚

ステンレス材料、2層内蔵、高さ調整可能

タンク照明

フロントウィンドウ上部に位置し、ランプシェード内に取り付けられるLEDランプ

インターーフェース

DN 40（KFフランジ）、予備インタフェース数個、電源インタフェース1個（220 V）

だいせんいしつ

形状

円筒形

サイズ

直径360 mm、長さ600 mm（オプション直径400 mm）

材質

304ステンレス鋼、板厚3 mm

表面（ひょうめん）

内面は油膜の伸線面であり、外面は塗装又は鏡面である

トレイ

スライドトレイ

ハッチ

アルミニウム合金材質、陽極酸化処理、厚さ12 mm、エアスプリング開力

あつりょくけい

インレット圧力計、機械文字盤表示。

操作

自動操作/手動操作可能

真空度

≤-0.1Mpa

しょうかんしつ

形状

円筒形

サイズ

直径150 mm、長さ300 mm

材質

304ステンレス鋼、板厚2 mm

表面（ひょうめん）

内面は研磨面、外面は射出成形

トレイ

トランジションルームの配置

ハッチ

アルミニウム合金材質、陽極酸化処理、厚さ12 mm、エアスプリング開力

あつりょくけい

インレット圧力計、機械文字盤表示。

操作

手動操作

真空度

≤-0.1Mpa

パージシステム

せいじょうカラム

304ステンレス鋼、肉厚3 mm、

せいじょうざいりょう

銅触媒、モレキュラーシーブ

作用

水を循環させることで酸素を除去する。

ざいりょうきゅうちゃくほうわしょり

水素アルゴン混合ガス（水素5〜10%）を通して再生処理を行った。

じゅんかんファン

0〜80 m³／hは周波数変換により調整される。

せいぎょモード

PLC制御、タッチスクリーン操作

メインパイプバルブ

高真空気動弁（インタフェースKF 40）

さんかすいそしひょう

酸素水＜1 ppm

制御システム

せいぎょモード

PLC制御

操作インタフェース

7インチタッチスクリーン

機能

自己診断、電源オフの自己起動特性を含み、圧力制御と適応機能、自動制御、循環制御、パスワード保護、システムデータの自動記録

主要指標

すいぶん

＜1ppm

酸素含有量

＜1ppm

リーク率

<0.001vol%/h

その他の主要部品

真空ポンプ

真空度≦2 x 10−³pa、抽気速度16 m³/h

ろてんけい

レンジ範囲：0-1000 ppm

さんそぶんせきけい

レンジ範囲：0-1000 ppm

オプション構成

有機溶媒吸着システム

良質活性炭により、設備内で揮発した有機溶媒を除去する。