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中国上海市徐匯区零陵路599号愛謙ビル707室
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上海納騰計器有限公司
概要
Desktop Pro薄膜堆積−マグネトロンスパッタリング
製品詳細
実験室空間が問題である場合、コンパクトで高真空Desktop Proスパッタリングシステムの生産能力は大きく、占有されるデスクトップ空間は36インチ（914 mm）未満です。Desktop Proは、共焦点スパッタリング及び磁性及び/又は誘電体材料の堆積を提供することができる。
Desktop Proは1つまたは2つの陰極を共焦点構造で支持し、4インチ直径で高い薄膜均一性を提供する。30分未満で高真空（10～6 Torrの範囲）まで抽気することができ、迅速な変換が必要なマルチユーザー環境における完全なソリューションです。
用途：
スパッタ材料研究製品の品質制御と品質保証
半導体故障解析ナノテクノロジー化合物半導体
利点：
この直流および無線周波数スパッタリングシステムにより、研究生産性が向上し、一貫性のある繰り返し可能なパフォーマンスを提供するとともに、テスト環境のスペースを大幅に節約できます。
