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メール
lu.yan@leboscience.cn
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電話番号
13584134215
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アドレス
江蘇江陰金山路201号創智産業園A座5階南
製品カテゴリー
江蘇雷博科学器械有限公司
概要
デスクトップリソグラフィパラメータ：1.最大露出面積：160 mm*160 mm。⒉.露光分解能：1 um（ゴム厚≦0.5 umのポジ）。3.アライメント精度：1 um（標準ウェハ研磨シート）。4.光源強度：35 mW/cm 2。5.露光波長：LED光源（輸入ランプビーズ、寿命 1万時間）
製品詳細
デスクトップリソグラフィパラメータ:
1.最大露出面積：160 mm*160 mm
⒉.露光分解能：1 um（ゴム厚≦0.5 umのポジ接着剤）
3.アライメント精度：±1 um（標準ウェハ研磨シート）
4.光源強度：35 mW/cm 2
5.露光波長：LED光源（輸入ランプビーズ、寿命＞1万時間）
6.露光方式：タイミング（カウントダウン方式）
7.マスクサンプルの相対運動範囲：X：±5 mmより優れている、
8.Y：±5 mmより優れ、0：±6°より優れている
9.マスクサイズ：7インチ、サンプル仕様：6インチ（ウェハ）
10.アライメントギャップと露出ギャップをデジタル設定する
11.マスクサンプル分離ギャップ：6=O-500 um連続調整可能
12.アライメント方式：自動アライメント、顧客の需要に応じて、アライメントマークの種類を増加することができ、累計4組を超えない
13.自動チップ輸送：ロボットハンド自動チップ輸送（専用サンプルロボットアーム及びフォーク）、プリアライメント位置決め機能を含む
14.顕微走査範囲：Y：±40 mm（デジタル設定）
15.正圧浮上露光、ハードコンタクト露光、圧力接触露光、及び近接型露光の4種類の機能を備えたCCD+遠心レンズ+ディスプレイアライメント、光学合成
16.センサによる重複を保証するために接触圧力を平らにする
17.デュアル対物レンズの調整可能距離範囲：30 mm-130 mm
