臨界点乾燥装置

交渉可能更新02/10

オンラインコンサルト

概要

臨界点乾燥設備の機械安全弁、電子警報、プログラム相互ロックの三重独立安全システムはオペレータと実験室環境の安全を確保する。

製品詳細

臨界点乾燥装置ワンタッチで全自動、乾燥+洗浄一体プロセスを開始

流体注入、圧力平衡から排気までの全過程をカバーするインテリジェントプログラムを内蔵し、結果を静止することができ、すべてのデータを生産実行システム（MES）にシームレスに接続でき、ウェハからデータまでのトレーサビリティを実現する。

三重連鎖防護、安全妥協なし

臨界点乾燥装置機械安全弁、電子警報、プログラム相互ロックの三重独立安全システムを装備し、オペレータと実験室環境の安全を確保する。

临界点干燥设备

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