ウェハレベルデバイス、チップX線照射計

ウェハレベルデバイス、チップX線照射計

用途：この計器は異なる種類のデバイスの照射に適用でき、デバイスの放射効果をモデル化する試験プラットフォームに適用でき、デバイスの設計、流片段階で補強提案を提供し、放射抵抗性能を評価する。ウェハレベルのデバイスの照射、リファレンスに試験条件を提供し、抗放射デバイスの開発全過程に向けた放射効果試験評価、リファレンスモデリング共通性技術サービスプラットフォームを形成し、デバイス設計補強技術の発展に試験技術サポートを提供する。

システムパラメータ

1. X線球管の最高電圧：160 kV

2. ハーネス角度: 40°

3. システム最大電力：6000W

4. X線球管焦点寸法：5.5 mm

5. 調整可能な照射距離(SSD)：OEM，最終設計に準じる

6. 線量制御：リアルタイム線量モニタ、線量率、累積線量を配置し、照射時間をリアルタイムに表示する。線量率検出範囲が最大＞600gy/min。

7. 冷却器れいきゃくき：統合された閉回路熱交換器

8. ステージ：電動操作

9. 制御：PLC制御

10. 機器はドアチェーンと警告灯を備え、使用の安全性を確保している。

11. 同軸槽型常高温吸着チャック（OEM）

12. チャックXY変位プラットフォーム、Z軸快速昇降、微調整昇降付き、チャックは±45°回転可能

13. PSM 1000顕微鏡、HDMIインタフェースハイビジョン（200万画素）CCD（その他オプション）

14. 顕微鏡XYシフトプラットフォーム2”*2”

15. 防振テーブル900 mm*800 mm（最終寸法は実際に準拠）

16. さんじくインタフェースプローブホルダ

17. くうきあっしゅくき

18. 高低温同軸チャック、半自動プローブ台、乾燥空気システムなどを選択的に配置することができる。