カソード蛍光イメージング分光検出システム

概要

陰極蛍光システム（Cathodoluminescence、CL）は通常走査電子顕微鏡または透過電子顕微鏡に配置され、形態観察、構造と成分分析と陰極蛍光スペクトルの結合研究を実現し、全スペクトル蛍光走査イメージングを実現することができる。陰極蛍光励起に用いる電子ビームスポットは非常に小さく、エネルギーが高い、フォトルミネッセンス（Photoluminescence，PL）陰極蛍光に比べて、高空間分解、高励起エネルギー、広いスペクトル範囲、大励起深さなどの特徴があり、全スペクトル蛍光走査イメージングを実現することができる。陰極蛍光システム結合走査電子顕微鏡は、小スケールで半導体材料とデバイス、蛍光材料（地質、考古材料）などの形態観察、構造と成分分析と陰極蛍光スペクトルの結合研究を実現することができ、半導体、マイクロ電子、材料、物理、地質、考古などの分野で広く応用されている。特にマイクロメートル、ナノスケールの半導体量子ドット、量子ワイヤなどの蛍光物質の発光特性及び電子構造の研究分野では、陰極蛍光技術は重要な応用価値を持っている。