Candela CS 920表面欠陥検出器

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モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

Candela CS 920表面欠陥検出器

製品詳細

KLA Candela光表面欠陥分析器（OSA）は半導体及び光電子材料に対して先進的な表面検出を行うことができる。CandelaシリーズはSi、砒化ガリウム、リン化インジウムなどの不透明基板を検出することができ、またSiC、GaN、サファイア、ガラスなどの透明材料を検出することができ、その製造過程における品質管理及び良率改善の有力なツールとなっている。

Candelaシリーズは光学表面分析（OSA）専用技術を採用し、散乱強度、形状変化、表面反射率と位相転移を同時に測定でき、特徴欠陥（DOI）のために自動検出と分類を行う。OSA検出技術は散乱測定、楕円偏光、反射測定と光学形状分析などの基本原理を結合し、非破環性方式でWafer表面の残留異物、表面と表面下欠陥、形状変化とフィルム厚さの均一性を検出する。Candelaシリーズは非常に高い感度を持ち、新製品の開発と生産管理に使用され、コスト効率の高いソリューションです。

二、機能

主な機能

1.欠陥検出と分類

2.欠陥解析

3.フィルム厚さ測定

4.表面粗さ測定

5.フィルム応力検出

技術的特徴

1.単回走査に4種類の光学検出方法を組み合わせた単機ソリューションは、最も効率的な自動化欠陥検出と分離を実現することができ、

2.LED材料の欠陥を自動的に検査し、それによって基板の品質管理制御を強化し、迅速に欠陥の根本原因を確定し、MOCVD品質管理制御能力を改善する、

3.高輝度発光ダイオード（HBLED）、高出力無線周波電子デバイス、透明ガラス基板などの技術、

4.複数の半導体材料システムにおいて製品の良率に影響する欠陥をより感度よく検出することができる。