CYG 502超微小圧力センサ

公称寸法外径2 mmの超微小圧力センサCYG 502は、流体力学実験においてより小さい取付寸法が要求される用途のために設計されている。現在当社が発売している製品の中で最もサイズの小さい圧力センサーです。

CYG 502の圧力感受性素子は先進的なMEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技術を用いて設計と製造されている。3次元集積、両面加工されたシリコン圧力抵抗感受性素子は優れた線形精度を有する。イオン注入、微細リソグラフィ技術により作製されたホイストン歪ブリッジの高い一致性は、小さな温度ドリフトをもたらす。シリコン直接結合技術、逆V型溝設計を採用し、それによって利用可能なチップフィルムサイズの最適化を実現し、チップサイズ全体を1×1 mmの大きさに縮小したが、出力感度は100 kpaのレンジに達することができ、超小型センサーの実現に重要な突破を得ることができる。

従来の設計におけるシリコン−ガラス結合をシリコン−シリコン結合に変更し、熱整合効果を改善し、応力によるゼロ位置不安定性を減少させた。

現在、市販されている品種には絶圧型測定モデル製品があり、表圧型は開発中である。

CYG 502 A絶圧型超微小圧力センサはプローブ形であり、標準外径はΦ2.15 mm、長さは18 mmであり、センサの選択可能な距離は100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000 kpa絶対圧力である。

CYG 502 A絶圧センサ用感知素子の正面に圧力を受ける。したがって、媒体が非腐食性で非導電性の乾燥ガスにのみ適用されます。それはかなり広い動作温度領域を持っていて、-55℃～+120℃に達することができて、非常に優秀な高周波動的特性も持っていて、その最低レンジの敏感素子の固有周波数は＞200 kHzで、上昇時間はサブマイクロ秒です。

1、性能指標パラメータ

2、フルレンジ出力：最小値30 mv典型値80 mv最大値130 mv

3、入出力インピーダンス：最小値3 kΩ典型値5 kΩ最大値7 kΩ

4、入力動作電流：1.5 mA（表圧タイプ）1 mA（絶圧タイプ）（定電流源）

5、動作温度範囲：-55℃～+120℃

6、補償温度範囲：-10℃～+80℃

7、過負荷能力：定格レンジの200%

8、加速度感度：＜0.001%FS/g

9、外形寸法図：CYG 502 A