ブルックステッププローブ式表面輪郭計

プローブプロファイル/段差計-甲板専門版。

技術が成熟し、パフォーマンスが向上

プロ仕様の装飾

ブルックステッププローブ式表面輪郭計Dektak Pro™ その多機能で、使用の利便性と正確な精度は薄膜の厚さ、段差の高さ、応力、表面粗さとウエハの反り測定の面で広く称賛されている。第11世代Dektak®システムは、4Å反復性の優れた表現を持ち、200 mmプラットフォームオプションを提供し、科学研究及び工業分野で材料の表面形態に各種分析を提供することができる。表面測定において、Dektak Proはマイクロエレクトロニクス技術、薄膜とコーティング、生命科学応用の理想的な選択である。

より正確な精度度（ど）

プローブ式輪郭計測定では、プローブ針の先端が表面に沿って移動し、軌跡の各点に沿った高さ情報を得て、高解像度の表面形態解析を実現する。プローブ式輪郭測定器はその高精度と低コストのために広く認可され、新開発の技術進歩はさらに速度と多機能性を高め、精密工学の応用が絶えず変化する需要を満たす。

強力なパフォーマンスと再現性

Dektak Proは、強力な解像度、安定性、ロバスト性、耐久性で、今後数年から数十年以内に信頼性の高い良質な結果を提供することを保証します。新しいモデルはDektakプラットフォームで革新を継承し、より高い解像度、より低いノイズ、より便利なプローブ交換を提供し、これらのすべての要素はシステムの再現性と正確性を最適化するために重要である。

適切な環境下では、Dektak Proは1ナノメートルのステップ高ささえ測定でき、1ミクロンのステップ高さ基準で4Åより優れた繰り返しを実現することができる。

パフォーマンスを詳細に表示

ブルックステッププローブ式表面輪郭計Dektak Proのシングルアーチ設計は、ノイズや振動などの不利な環境条件に対する感受性を効果的に低下させるとともに、大型サンプル試験を収容することができる。次世代のインテリジェント電子技術の応用により、温度変化と電子ノイズがより大幅に減少し、高精度測定における誤差と不確実性が減少した。

低慣性センサ（LIS 3）は、システムを迅速に表面形態の突然の変化に適応させ、動的測定シーンで正確性と応答性を維持することができる。プローブ交換技術は自己整列プローブ治具を通じて、位置ずれとシステムの再校正の必要性を取り除き、プローブ交換を簡単に完了し、1分もかからない。

結果の迅速な取得

Dektak Proは直進スキャンプラットフォーム技術を採用しており、この先進的なスキャンプラットフォーム技術は解像度とノイズ底に影響を与えずに測定時間を大幅に削減し、それによって3 D形態または長輪郭スキャンの結果取得速度を速め、同時に優れたデータ品質と再現性を維持している。

Vision64®ソフトウェアは64ビット並列処理技術を採用し、ビッグデータに直面しても迅速なデータ処理を実現することができる。また、自動化された複数回スキャン分析操作により、反復タスクが簡略化され、速度と利便性が向上します。

より簡単な操作

データ収集はBrukerのVision 64ソフトウェアで行われ、このソフトウェアは簡略化されたグラフィカルユーザーインターフェースを持ち、インテリジェントアーキテクチャ、直感的な可視化ワークフロー、豊富なユーザーカスタマイズ自動化機能を組み合わせている。Dektak Proはデータ収集体験をさらに改善し、具体的には：

●より小さな光学的歪みにより、視野全体が明確な焦点を維持し、興味のあるテスト位置の迅速な位置決めを容易にする

●単一測定ヘッドは1 nm〜1 mmの段差高さと1〜15 mgの負荷（N−Lite＋モードでは0.03 mgまで低下）をカバーでき、再較正を必要としない

●測定設定を自動化し、操作を簡略化するための簡単なオペレータグラフィカルユーザインタフェース

分析機能の拡張

Vision 64のデータ解析器は、データフィルタリング、自動レベリング、自動ステップ検出、およびrecipe能力により、分析をより強力で簡単にします。

•段差高さ

Dektak Proの強力な新しいステップ高さアルゴリズムは、さまざまな複雑な表面プロファイル測定に信頼性と包括的な結果を提供します。その自動分析プログラムはまた、ユーザーがステップ高さ計算に与える影響をより大幅に減少させ、データ解釈の一貫性と客観性を向上させることができる。

•表面粗さとうねり

Dektak Proは、表面粗さ、テクスチャ、うねりを高精度に定量化するための高価格でユーザーフレンドリーなソリューションを提供します。様々なプローブ仕様、ユーザー定義可能なプローブ力（1～15 mg、N-Lite+を使用して0.03 mgまで低くできます）、および1 mmまでの垂直測定範囲により、様々な表面での測定が可能になります。

•2 D応力測定

Dektak Proを利用すると、ユーザーは2 D応力解析において強力な制御力を持っている。ユーザー定義の異常点除去と境界フィッティングにより、より繰り返し可能で高精度な応力測定を実現することができます。

•ウェハ反りマッピングと3 D応力測定

膜応力による変形を正確に評価することは、制御可能なプロセスの開発と高品質デバイスの製造に重要である。Dektak Proは、変形、亀裂、層間はく離を引き起こす可能性のある膜応力を正確に測定します。

包括的なアプリケーション環境

Dektak Proは研究開発、技術開発及び現在と未来の品質保証/品質制御（QA/QC）の需要を満たし、多種の工業と研究応用に適用し、以下を含む：

•マイクロエレクトロン

堆積とエッチングプロセスの監視

デバイスとセンサの高さを測定する

溝の深さの評価

•フィルムとコーティング

眼鏡上のUV/硬化コーティングを検証する

蛇口/継手の装飾コーティングを最適化する

塗料またはインク被覆の厚さの解析

•ライフサイエンス

生体材料の厚さを分析する

バイオセンサの表面形態の評価

マイクロ流体チャネルの特性化