ブルックDektakシリーズ段差計/プローブ式輪郭計

_

ブルックDektakシリーズ段差計/プローブ式輪郭計

_ブルックDektakシリーズ段差計/プローブ式輪郭計、ナノメートル級表面測定、表面形態分析などの多種の領域に適用し、50年を超える研究開発の過程を持ち、技術が成熟し、性能が信頼できる。

設備は4Å（0.4 nm）の優れた反復性と高速な走査速度を実現でき、マイクロエレクトロニクス技術、半導体、タッチスクリーン、太陽光、高輝度LED、医療と材料科学、薄膜とコーティング、生命科学応用などの業界にナノレベルの表面形態測定技術を実現するために支持を提供する。

ブルックの次世代階段計デバイス-Dektak Pro

Dektak Pro™ その多機能で、使用の利便性と正確な精度は薄膜の厚さ、段差の高さ、応力、表面粗さとウエハの反り測定の面で広く称賛されている。第11世代Dektak®システムは、4Å反復性の優れた表現を持ち、200 mmプラットフォームオプションを提供し、科学研究及び工業分野で材料の表面形態に各種分析を提供することができる。表面測定において、Dektak Proはマイクロエレクトロニクス技術、薄膜とコーティング、生命科学応用の理想的な選択である。

強力なパフォーマンスと再現性

Dektak Proは、強力な解像度、安定性、ロバスト性、耐久性で、今後数年から数十年以内に信頼性の高い良質な結果を提供することを保証します。新しいモデルはDektakプラットフォームで革新を継承し、より高い解像度、より低いノイズ、より便利なプローブ交換を提供し、これらのすべての要素はシステムの再現性と正確性を最適化するために重要である。

適切な環境下では、Dektak Proは1ナノメートルのステップ高ささえ測定でき、1ミクロンのステップ高さ基準で4Åより優れた繰り返しを実現することができる。

パフォーマンスを詳細に表示

Dektak Proのシングルアーチ設計は、ノイズや振動などの不利な環境条件に対する感受性を効果的に低下させるとともに、大型サンプル試験を収容することができる。次世代のインテリジェント電子技術の応用により、温度変化と電子ノイズがより大幅に減少し、高精度測定における誤差と不確実性が減少した。

低慣性センサ（LIS 3）は、システムを迅速に表面形態の突然の変化に適応させ、動的測定シーンで正確性と応答性を維持することができる。プローブ交換技術は自己整列プローブ治具を通じて、位置ずれとシステムの再校正の必要性を取り除き、プローブ交換を簡単に完了し、1分もかからない。

結果の迅速な取得

Dektak Proは直進スキャンプラットフォーム技術を採用しており、この先進的なスキャンプラットフォーム技術は解像度とノイズ底に影響を与えずに測定時間を大幅に削減し、それによって3 D形態または長輪郭スキャンの結果取得速度を速め、同時に優れたデータ品質と再現性を維持している。

Vision64®ソフトウェアは64ビット並列処理技術を採用し、ビッグデータに直面しても迅速なデータ処理を実現することができる。また、自動化された複数回スキャン分析操作により、反復タスクが簡略化され、速度と利便性が向上します。

古典的で信頼性の高い段差計-DektakXT

ブルックDektakXTプローブ式輪郭計（段差計）は革命的な卓上設計を採用し、成熟したの技術と設計を実現し、高性能、高使い易さ及び高性価格比の統一を実現し、研究開発から品質制御までの面でより良いプロセス制御を持っている。

設備の特徴：

-階段高再現性が4Å未満の高性能

-Single-arch（シングルアーチ）設計により、画期的なスキャン安定性を提供

-テスト精度と安定性を向上させるためにアップグレードされた「インテリジェント電子デバイス」

-最適化されたハードウェア構成により、データ収集時間を40%短縮

-64-bit、Vision 64同期データ処理ソフトウェアにより、データ解析速度が10倍に向上

-視覚的なVision 64ユーザー操作インタフェース、より簡単な操作

-針先自動校正システムにより、ユーザーが針先プローブを簡単に交換できるようにする

-広範なプローブモデル

-シングルセンサ設計

-高スループットテストを確実にする

プローブ式輪郭計システム/段差計システム-デクタック XTL

Dektak XTLプローブ式輪郭計システム（ステップ計システム）は大型ウエハやパネル製造などの応用のために設計されたプローブ式輪郭計システムで、350 mmx 350 mmまでのサンプルを収容でき、高精度のスキャン性能と優れた再現性を持っている。

設備は空気振動隔離と全閉鎖ワークステーション設計を採用し、使いやすいインターロックドアを備え、過酷な生産環境に使用できる。デュアルカメラアーキテクチャにより、空間知覚能力を向上させることができます。高い自動化レベルにより、テストスループットをより大幅に向上させることができます。

製品特徴：

-Dektakシリーズ段差計の強力な性能

-単一アーチ構造、統合振動隔離システム、および大型インターロックゲート

-高精度エンコードXYサンプルワークベンチをより大きくサポート

-デュアルカメラ制御システム

-便利な分析とデータ収集

-N-Lite低力、ソフトタッチ技術を採用

-信頼性の高い自動設定と操作

-強化された解析ソフトウェア

-針先自動校正システムにより、ユーザーが針先プローブを簡単に交換できるようにする

-広範なプローブモデル