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中国上海市徐匯区零陵路599号愛謙ビル707室
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上海納騰計器有限公司
概要
ブロック抵抗試験器
製品詳細
Filmetricsの薄膜抵抗測定デバイス開発の源泉はにまさる30年に経験したKLAの薄膜抵抗測定技術、20年デスクトップ測定装置開発経験のあるFilmetricsチームは完備したデスクトップブロック抵抗測定製品。KLA薄膜抵抗測定技術としては、接触（4 PP）及び非接触（EC）方法が挙げられる。
FilmetricsのR 50シリーズブロック抵抗測定器は各種基材に堆積する導電性シートと薄膜を測定することができ、10桁の範囲にまたがる抵抗率、次のものが含まれます。
半導体ウエハ基板
ガラス基板
プラスチック（フレキシブル）基材
PCBパターンフィーチャー
太陽電池
平板表示レイヤーとパターン化フィーチャー
きんぞくはく
二、主な機能
lぎじゅつ仕様
Model |
Description |
R50-4PP |
よんプローブしけん 自動XYいどうだい-100mm*100mm 実装可能な直接100mmウェハブロック抵抗mappingそくてい 配置可能直径200mmウェハサンプル |
R50-EC |
非接触渦電流試験 自動XYいどうだい-100mm*100mm 実装可能な直接100mmウェハブロック抵抗mapping非接触そくてい 配置可能直径200mmウェハサンプル |
R50-200-4PP |
よんプローブしけん 自動XYいどうだい-200mm*200mm 実装可能な直接200mmウェハブロック抵抗mappingそくてい |
R50-200-EC |
非接触渦電流試験 自動XYいどうだい-200mm*200mm 実装可能な直接200mmウェハブロック抵抗mapping非接触そくてい |
三、応用
以下の項目を含むが、これらに限定されない広範な測定をサポートします。
金属膜厚、基板厚、ブロック抵抗、抵抗率、導電率、多層膜
