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アドレス
上海市閔行区外環路352号B 108（201199）
製品分類
上海伊豊精密機器有限公司
概要
大サイズサンプルに適用するAxio Imager Vario検査大サイズサンプルはオートフォーカスシステムを持ち、超クリーンルーム等級要求を満たす分析スレーブを持っている。小さなMEMSセンサから超大XXLウエハ、またはプレート顕微鏡全体に至るまで、その間にサンプルに破壊を与えることはありません。力を借りる幅300 mmの横方向移動距離と高さ254 mmを超える垂直深さで、Axio Imager Varioの下で大量のサンプルを検出できます。一体化機柱の設計は安定性を確保した。超クリーンルーム内でウェハを検出するアプリケーションでは、Axio Imager VarioはDIN EN ISO 14644-1標準認証を取得し、クリーン超クリーンルームレベル5の要件を満たしています。Z軸を駆動する電動モータとオートフォーカスハードウェアを使用して、より良いフォーカス位置に自動調整されることを確認します。
製品詳細
特徴：
- 2種類の手動と1種類のモータカラム（工業規格に適合する3つのモード制御ボタンを搭載）を選択でき、顕微鏡を十分に利用できる。300 mmの横方向と縦方向の移動距離と254 mmの超高垂直深さの利点。
- Axio Imager Varioは、対物レンズターンテーブルの上下移動によってサンプルをフォーカスすることができます。これは、重いサンプルであっても、高精度の焦点精度と再現性が得られることを意味する。
- オートフォーカスハードウェアを使用すると、低コントラストの反射サンプルを正確かつ迅速にフォーカスすることができます。
- Axio Imager VarioはLSM 700と組み合わせて応用され、高解像度で無接触で敏感サンプルを分析する。
- Axio Imager VarioはDIN EN ISO 14644-1標準認証を取得し、クリーンスーパークリーンルームレベル5の要件を満たしています。
超清浄室：
半導体製造とウエハ検出は超清浄室内で行う必要がある。DIN EN ISO 14644-1規格に基づき、1立方メートル当たりの粒子の数と大きさで異なる等級に区分した。スーパークリーンルームアプリケーションでは、Axio Imager Varioはこの標準認証に合格し、スーパークリーンルームレベル5の要件を満たしています。超クリーンルームISO 5レベルは、元のFED STD 209 E（1992）規格の100レベルに相当する。スーパークリーンルームキットには、7穴の対物レンズターンテーブル、粒子保護カバー、くしゃみ防止保護カバーが含まれています。
オートフォーカスハードウェア：
Auto Focusオートフォーカスハードウェアシステムを統合したAxio Imager Varioは、最大12,000µmの焦点捕捉範囲内で迅速かつ正確なフォーカスを実現します。工業生産と研究の検査応用において、対物レンズの被写界深度の0.3倍に達する集束精度の高い集束システムが必要です。この自動凝集ハードウェアは、反射光、透過光、明視野、暗場、偏光、微分干渉位相差及び斜照明観察方式を用いた応用に適している。
