Automegasamdri-936、Series C臨界点乾燥器

Automegasamdri-936,

シリーズ C

• 製品特徴：

• 新たに配置された専用の「スローチャージ」制御は、サンプルキャビティに理想的な二酸化炭素流体力学を提供し、脆いサンプルの大部分を保護した、

• 外部にPURGE後のろ過装置を配置し、サンプルを保護し、交換と後期メンテナンスが容易である、

• 独占特許を採用した「Vortex Swirl」は機械的攪拌ではなく、PURGEをサンプルを破壊することなく完全にする、

• 効率的な内部閉鎖冷却循環システムは、キャビティの温度を急速に冷却し、操作時間を短縮することができる、

• SOTER凝縮器を内蔵し、廃棄エタノールと排気ガスを分離し、排気騒音を除去する、

• 独自のサンプル室充填ブロックは、サンプル室の直径を変更し、液体二酸化炭素の消費量と処理時間を削減し、異なるサイズのウエハの処理に互換性がある、

• 内部ろ過システム、試料室に流入した液体二酸化炭素をろ過し、ろ過粒子の最低サイズは0.08μmに達した、

• 1回の運転で5枚の6インチウエハを処理することができ、サンプル室のサイズを変更することができ、1回の運転でもそれぞれ4インチ、3インチ、2インチウエハ及び10 mm角結晶を処理することができる、

• 標準的なテフロン互換の6インチ、4インチ、3インチ、2インチウエハサンプル棚と10 mm角結晶サンプル棚を各1つ、

• 垂直試料室、内腔に照明があり、試料室の蓋に観察窓がある、

• 明るいLCDタッチパネル制御、

• 工場出荷時にプログラムを自動的に実行し、パーソナライズされたプログラムを作成して保存することができます。

• すべての内部表面はCO 2、アセトン、超純エタノールに適している、

• 設定できるパラメータを繰り返して、結果の再現性を確保することができます。

• 自動温度制御と静圧制御モジュールを集積し、自動安全な運転を確保する。

• クリーンルームと静電気防止の両立設計、

すべての電気部品はUL、CE、U.S.Military基準を満たしている。

• 製品仕様：

• 外寸法：幅19.8”（50.3 cm）×奥行き31.7”（80.6 cm）×高さ44.5”（113.0 cm）、

• 設置面積：幅27”（68.6 cm）×奥行き38”（96.5 cm）、

• 試料室寸法：内径6.5”×深さ1.25”、試料室容積：679 ml、

• LCO 2の流速は、ノギス付きマイクロメータバルブによって制御される。

120 V/50-60 HZ（その他の電圧を選択可能）、

• 標準部品：

• 高圧ステンレス鋼LCO 2管（内張りテフロン）の長さ3メートル、

• 二重T型ろ過装置、二重ろ過微粒子、ろ過装置は事前にLCO 2管と接続でき、設置が便利である、

• 取付工具

• PURGE/VENT/BLEEDとCOOL時の排気用の静電気防止排気管、

• 試料室Oリング3個、試料室LED照明ランプ1個、3 Aと8 Aヒューズ各2個、

• 試料室の直径が6、4、3、2、1.25インチを含むように、4つのTeflon試料室充填ブロック、

• 直径6、4、3、2インチウエハサンプルラックと辺長10 mm角結晶サンプルラックが各1個、サンプルラックHF互換、