高温リン酸濃度計

高温リン酸濃度計製品の詳細：

3 D NANDプロセスでは、数十層の二酸化ケイ素と窒化ケイ素を堆積し、高温リン酸を用いて窒化ケイ素層を選択的にエッチングした。このプロセスでは、化学薬液の濃度と温度を制御することにより、所望のエッチング速度を得ることができる。成熟型では高温化学薬液の測定は難しいが、CS-620 Fは170℃までの高温で測定できる。吸収スペクトルを用いた連続測定は、他の方法に比べてメンテナンスや消耗品が少ない。

製品特徴

・92%までの高濃度リン酸を測定することができる。

●冷却機構や冷却時間は必要ありません。

●循環管路中の高温リン酸（140〜170℃）を冷却する必要がなく、直接測定することができる。

●サンプルはPFA接触を用いて汚染リスクを低減した。

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●3秒ごとに測定データを更新することで、濃度フィードバックをより迅速に使用して制御することができます。

安定性

▶ 測定結果サンプル（実際の薬液）は1時間測定し、良好な安定性を示した。

▶ 測定条件

測定周期：3秒ごとの測定時間：1時間移動平均数：16回。

サンプル濃度（初期サンプル濃度）H 3 PO 4：92.2%H 2 O：7.8%サンプル温度：141°C。

HORIBA/堀場CS-620 F光ファイバタイプ高温リン酸濃度計製品パラメータ：

その他の推奨事項：

光ファイバ型化学薬液濃度計CS-600 F

CS-600 Fは生産に適したより高度な機能を提供し、例えば、様々な応用の中で高温化学薬液をオンライン測定する能力、停止時間の安定した運行を減少し、空間生産性を高めるコンパクトサイズ、

サイズが小さく、レイアウトが柔軟

CS-600 F濃度計はサイズがコンパクトで、成熟モデル（CS-100 F 1シリーズ）に比べて、高さが36%、体積が40%減少し、サンプルユニットの光ファイバケーブルに必要な空間が46%減少した。光源ユニットと濃度計本体は遠隔で単独で設置することができ、化学薬液ユニットと洗浄設備の位置に応じて柔軟な設置をサポートする。

高温化学溶液（20〜80℃）の高安定性オンライン測定

新しい光学系と改良された処理アルゴリズムは、オンラインで高温化学薬液を測定することをサポートし、これは優れた湿式プロセスの重要な一歩である。これにより、化学サンプルを冷却する必要がなくなります。HORIBAのCS-600 Fは安定性が高く、より効果的で正確な化学薬液管理を実現した。

背景補正周波数が著しく低下

成熟したモデル（CS-100 F 1シリーズ）と比べて、定期的な校正頻度は著しく低下し、これは逆にテーブルの停止時間を著しく減少し、生産量の向上に役立つ。

1台の濃度計で6種類までの化学薬液（薬液の種類または濃度範囲）を測定することができる

1台の濃度計で6種類までの化学薬液（薬液の種類または濃度範囲）を測定することができる。

最大6成分まで出力可能な測定値（シリアル出力）

成熟モデル（CS-100 F 1シリーズ）は、4つの成分の測定値（シリアル出力）を出力することができます。CS-600 Fの新モデルは、6つの成分の測定値をシリアル出力で出力することができます。CS-600 Fモデルは4種類の成分をアナログ出力し、CS-100 F 1モデルは2種類である。

製品パラメータ：