化学薬液濃度計

HORIBA/堀场HF-960M化学薬液濃度計の製品詳細：

HF-960 Mが採用したセンサーは優れた耐食性を持ち、低濃度の化学品に対して高精度、高速測定ができるため、単槽洗浄とウエハ洗浄の理想的な選択である。HF-960 Mも環境に配慮した製品で、鉛フリーはんだを使用してチップをプリント基板に埋め込む。

製品特徴：

・低濃度HFの正確な測定。

●5つの利用可能な測定モード：HF、HCl及びNH 3濃度、導電率及び温度。

●アナログ出力範囲は濃度測定範囲に応じて任意に設定することができる。

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●3チャネル転送出力。

●RoHS規格に準拠しています。

●24 V直流電源。

●CE認証基準を満たしている。

HORIBA/堀场HF-960M化学薬液濃度計の製品パラメータ：

HF/HCl/HF-960H

半導体製造および他のプロセスで使用されるHFおよびHCl濃度を正確に測定する。専用のFES-510シリーズセンサは耐薬品性が強く、この濃度計をHFとHClを管理する理想的な選択にした。

●測定範囲：0～10%

●測定範囲の自動表示切り替え

●4種類の測定モードを支持する：HF濃度、HCl濃度、電気伝導率と温度

●24 V直流電源

●RoHS規格準拠

オンラインセンサと自動測定範囲切り替えHF-960 EM

低濃度から未希釈原液までの種々のHF濃度範囲を測定した。すべてのPFAセンサをクリーニングする能力も備えている。

・低濃度から非希釈原液までの広い測定範囲。レンジ：0～50%

●自動補正測定範囲切替機能による高精度測定

●すべてPFAセンサを使用し、半導体プロセスに適している

●RoHS規格準拠

HE-960H-KOH

KOH濃度精度が高く、測定範囲が広く、耐化学腐食センサーを搭載している。測定範囲：0～20%。

HE-960H-TM-S/高精度TMAH

TMAH（水酸化テトラメチルアンモニウム）の濃度を正確に測定することができる。TMAHは半導体プロセスにおけるレジスト現像液の主成分である。化学腐食に強い炭素センサーを搭載している。

●高精度。再現性：+/-0.003%内

●広い測定範囲

●濃度：0-3%、導電率：0-1000 mS/cm

●測定範囲表示の自動切り替え

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●耐化学腐食炭素センサ

●24 V直流電源

●RoHS規格準拠