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マグネトロン自動型イオンスパッタリング装置

ネゴシエーション可能更新05/06
モデル
メーカーの性質
生産者
製品カテゴリ
原産地

概要

$r$nは高効率低圧直流マグネトロンスパッタリング技術を採用し、サンプル表面に定電流冷態微細めっきを行い、熱損傷効果を効果的に防止することを実現した。$r$nはワンタッチ溶射動作を実現することができる。$r$n$r$n回転傾斜試料台をオプションで配置でき、めっき膜がより均一になる。$r$n空ポンプは耐震ステージ上に置くことができ、全金属集積結合システム。$r$nは多種の金属ターゲットを使用することができる:Au、Pt、Ag、Cu、ターゲットの交換が迅速で便利である。$r$nアルゴンガスインタフェースを備えている。

製品詳細

IS-120イオンスパッタ

磁控自动型离子溅射仪

型番:IS-120

適用範囲:

走査型電子顕微鏡イメージングにおける非導電性試料の高品質めっきに適している。

主な特徴:

Ø操作が簡便で迅速で、スパッタ電流と時間を予め設定することができる。

Ø高効率低圧直流マグネトロンスパッタリング技術を用いて、サンプル表面に対して定電流冷態微細めっきを行い、熱損傷効果を効果的に防止することを実現した。

Øワンタッチ溶射操作を実現することができる。

Øマイクロプロセッサ制御、セキュリティインターロック。

Ø回転傾斜試料台を選択して配置することができ、めっき膜はより均一である。

Ø空ポンプは耐震ステージ上に置くことができ、全金属集積結合システム。

Ø複数の金属ターゲットを使用することができます:プラチナ,靶材更换快速方便。

Øアルゴンガスインタフェースを備え、アルゴンガス、圧力を受けることができる0.05MPa、気管内径4mm

技術パラメータテーブル:

モデル

IS-120

サンプルチャンバサイズ

外径120(内径106ミリメートル×高さ120 mm

サンプルテーブル

直径63 mm、高さ調整可能範囲は0-60mm

回転傾斜サンプルテーブル(オプション)

傾斜角度-45°至+45°連続調整可能、

かいてんそくど0まで60回転/分連続調整可能、

スパッタヘッド

低電圧平面マグネトロン、ターゲットの交換が速く、暗部カバーを取り囲む

スパッタ制御

マイクロプロセッサ制御、セキュリティインターロック、電流5-40mA

スパッタ時間

0300

ターゲットざいりょう

プラチナ

サイズ:直径54×0.1 mm厚い

制御方法

じどうくうきぬききのう

真空ポンプ

2段直接接続式ロータ真空ポンプ

抽気速度

4m3/h

くうきぬきじかん

30秒~0.1ミリバール(空荷重)

重さ

8キロ

さぎょうガス

高純アルゴンガス、吐出圧力0.05MPa、気管内径4mm

外形寸法

広い420×深さ300×高さ290(mm)

電源要件

220V,50Hz600W










アフターサービス:

1. 弊社アフターサービス住所:山東省済南市ハイテク区舜華路街道漢峪光年3号棟

2. 品質保証期間内に売り手の原因で故障した場合、売り手は 2 時間以内にユーザーのサービス要件に対応します。一般的な問題は、 12 時間またはその他の迅速に解決できない問題は、 24 時間で解決するか、または明確な解決策を提出し、修理を申し込んだ日から4日以内に購入者の現場に到着し、故障を排除し、無料で破損部品を交換する、

3. 保証期間内に、弊社はこの機器に対して無償で修理サービスを提供し、四半期ごとに定期的に訪問し、設備の維持指導を行う。ただし、以下の原因による機器の修理については、保証サービスの範囲内ではありません。

不可抗力により機器が損傷した場合、

b 不適切な使用により、自ら設備を改装して故障又は損傷をもたらした場合、

c 弊社のアフターサービス技術者または指定された人員以外の修理により故障と損傷が発生した場合。

4. 費用には交換が必要な部品費や整備士の交通費や労務費などが含まれており、具体的な費用は実際の故障状況に基づいている。

5. 我が社は今回の入札貨物に対して1年間の無料品質保証期間を負担し、終身メンテナンスを提供する。

6. 我が社は今回の入札貨物に対して設置調整、検査、操作員訓練、定期メンテナンス指導及び技術コンサルティングなどの一連のサービスを提供している。

7. 弊社には専門修理部と十分な部品倉庫が設置されており、ユーザーに迅速かつタイムリーな修理サービスを提供することを確保しています。私たちは心からあなたのためにサービスします。