PLDパルスレーザ蒸着蒸着膜めっき装置の動作

PLDパルスレーザスパッタリング堆積装置シリーズの装置は主に光学結晶、強誘電体、強磁性体、超伝導体及び有機化合物薄膜材料の成長に用いられ、特に高融点、多元素及びガス元素を含む複雑な層状超格子薄膜材料の成長に適している。