下置4ターゲットマグネトロンめっき装置の設置と操作

下置4ターゲットマグネトロンめっき装置はデスクトップ型ターゲット下置型マグネトロンめっき装置である。設備は小型化された設計を経て、設備の外形をデスクトップレベルに制限し、設置場所の需要を大幅に削減した。