デュアルターゲットパルス電源マグネトロンめっき装置の取り付けと操作

デスクトップ型デュアルターゲット直流マグネトロンめっき装置は金属薄膜の製造に用いることができ、電子分野、光学分野、特殊セラミックスの製造などの分野で応用があり、特に実験室SEM試料の製造、デュアルターゲット直流マグネトロンめっき装置は回転加熱試料台を採用し、有効に薄膜の均一性と成膜の品質を高めることができる。