Filmetrics F 20単点携帯膜厚測定器

フィルムの厚さ、光学定数を知りたいのか、材料の反射率と透過率を知りたいのか、F 20はあなたのニーズを満たすことができます。インストールを完了するのに数分かかり、USBでパソコンに接続することで、デバイスは数秒以内に測定結果を得ることができます。あるモジュラー設計の特徴に基づいて、F 20は各種の応用に適している。

関連するアプリケーション：フォトレジスト、プロセスフィルム、誘電体材料、ハードコート、パリレン、反射防止層、医療設備、OLED、ガラスの厚さ、ITO、その他のTCO。

Filmetrics F 40フィルム測定器

顕微鏡を結合した膜厚測定システム、Filmetricsの特殊膜厚測定システムにより、ユーザは簡単かつ迅速に膜厚と光学定数は、測定対象膜層の上下界面間反射スペクトルを分析することにより、数秒以内に得ることができる測定結果へ。

関連するアプリケーション：レジスト、半導体製造、ポリマー/ポリパラキシレン、生物医学素子、MEMSマイコン電気システム、箱厚、酸化物/窒化物、シリコンまたは他の半導体膜層、バイオフィルム/気泡壁の厚み、薬物洗浄層、シリコン膜、窒化アルミニウム/酸化亜鉛薄膜フィルター、ポリイミド、ITO導電性透明膜。

Filmetrics F 50自動Mapping膜厚測定器

自動薄膜厚描画システム、F 50の特殊なスペクトル測定システムにより、非常に簡単で迅速に最大直線を得ることができます直径450 mmのサンプルフィルムの厚さ分布図。r-θ極座標移動プラットフォームを用いて、必要なテストポイントを非常に迅速に特定し、リアルタイムでテスト厚さを得ることができます。毎秒2点をテストすることができます。F 50システムは高精度長寿命のモバイルプラットフォームを配置し、何百万回もの測定を実現した。

関連するアプリケーション：半導体製造LCD液晶ディスプレイ、レジスト、ポリイミド、酸化物/窒化物/SOI、ITO透明導電膜、ウエハ裏面研磨、光学めっき層MEMSマイコン電気システム、ハードコート、レジスト、反射防止層、シリコン系膜層

KLA ゼータ20 白色光共焦点プロファイル計

多機能光学テストモジュール、Zeta-20は、ユーザーのさまざまな分野のテストニーズに対応するさまざまな光学テスト技術を提供します。ZDot技術に基づいて、Zeta-20は超平滑から高粗さ、低反射率から高反反射率表面、透明〜不透明媒体。

関連するアプリケーション：ロゴ流体デバイス、ICウエハ表面、MEMSデバイス、ロゴギア/マイクロフレーム、レーザーパンチ、ディスクのリバース。

KLA iMicro のナノ力学テスタ

柔軟で使いやすい力学テストは様々な材料と応用に広く使用でき、iMicroは打痕、硬度、傷付け試験、多元化ナノスケール試験などのナノメートルである級力学テスト設計。iMicroには幅広いレンジロードドライブが搭載されている一般的な荷重と変位の範囲内で測定する。

関連するアプリケーション：ハードコート、セラミックとガラス、金属と合金、複合材料、塗料とペンキ、医薬機器、半導体、電池とエネルギー貯蔵材料、自動車と航空宇宙

Profilm 3 D白色光干渉プロファイル計

Profilm 3 Dは垂直干渉走査（WLI）と高精度の位相干渉（PSI）技術を用いた。強力な性価比でサブナノスケールの表面形態研究を実現する。

関連するアプリケーション：粗さ測定；三次元形態特徴づけ、ステップ高さ測定

FS-1多波長偏光解析器

Film Sense FS-1多波長偏光解析器は寿命長LED光源と非移動式部品偏光解析器を採用し、操作が簡単な小型偏光解析器において信頼性の高い薄膜測定を実現することができる。

関連するアプリケーション：シリカと窒化物、高誘電体と低誘電体材料、アモルファスと多結晶材料、シリコン薄膜、フォトレジスト。SiO 2、TiO 2、Ta 2 O 5、MgF 2などの高および低指数膜。TCO（例えばITO）、アモルファスシリコン薄膜、有機薄膜（OLED技術）など