SEMICON CHINAが来た、優ニコンと共に交流精密膜厚測定！
日付：2025-03-07読み：0
SEMICON CHINA 2025半導体業界盛会は3月26日から28日まで上海新国際博覧会で開催される。優ニコンは多くの精密測定設備を携えて出展し、新旧の友人の来場を歓迎します！
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F 50は非常に簡単に最大直線を得ることができる直径450 mmのサンプルフィルムの厚さ分布図。r-θ極座標移動プラットフォームを用いて、必要なテストポイントを迅速に特定し、リアルタイムでテスト厚さを得ることができます。毎秒2点ずつテストします。 |
関連するアプリケーション：半導体製造（レジスト、酸化物／窒化物／SOI、ウエハ裏面研磨）、LCD液晶ディスプレイ（ポリイミド、ITO透明導電膜）、光学めっき膜（ハードコート層、反射防止層）、MEMSマイコン電気システム（レジスト、シリコン系膜層）。 |
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P-7は階段の高さ、粗さ、反り、応力に対して2 Dと3 D測定を行うことができ、そのスキャンは画像の接合を必要とせずに150 mmに達することができる。 |
関連するアプリケーション：フィルム/厚膜ステップ、エッチング深さ測定、フォトレジスト/レジストステップ、フレキシブルフィルム、表面粗さ/平坦度特性化、表面曲率と輪郭解析、フィルムの2 D stress測定、表面構造解析、表面の3 D輪郭画像化、欠陥特性評価と欠陥解析。 |
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Filmetrics R 50シリーズは、接触式4点プローブ（4 PP）と非接触渦（EC）測定を提供する。最速1時／秒の速度で導電膜の抵抗率／導電率をマッピングした。電動X-Yステージは標準ウェハチャックを用いてサンプルラックをカスタマイズし、最大300 mmのサンプル、または200 mmの面積を測定することができる。 |
関連するアプリケーション：シリコンチップのドーピング金属層の厚さ試験、ウェハ抵抗率試験 |
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高さ9インチ以下のワークピースには、同種の製品より優れた12 x 12インチ測定可能領域があります。オートマルチコリメータにより、さまざまな特徴サイズに対応するためにスポットサイズを選択することができます。可変焦点カメラでは、0.25インチ～3.5インチの焦点距離範囲で測定することができます。 |
関連するアプリケーション：材料屈折率消衰係数試験、シリコンウェハの自然酸化層厚さ試験、レジストの光学定数試験、半導体後段パッケージシリコン上の金属厚さ測定 |
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Film Sense FS-1多波長偏光解析器は寿命長LED光源と非移動式部品偏光解析器を採用し、操作が簡単な小型偏光解析器において信頼性の高い薄膜測定を実現することができる。 |
関連するアプリケーション：シリカと窒化物、高誘電体と低誘電体材料、アモルファスと多結晶材料、シリコン薄膜、フォトレジスト。SiO 2、TiO 2、Ta 2 O 5、MgF 2などの高および低指数膜。TCO（例えばITO）、アモルファスシリコン薄膜、有機薄膜（OLED技術）など |
