透過型電子顕微鏡液体電気化学インサイチュシステム透過型電子顕微鏡(TEM)技術と液体電気化学試験環境を集積した装置である。
当社提供の透過型電子顕微鏡液体電気化学インサイチュシステムの技術は次のとおりです。
1、ナノ流体制御技術を採用し、圧電マイクロ制御システムを通じて流体微分制御を行い、ナノアップグレード微量流体輸送を実現し、その場ナノ流体制御システム及びサンプルロッド中の冗長液体量はマイクロリットルレベルしかなく、電子顕微鏡の安全を有効に保証する。
2、高分子膜面接触シール技術を採用し、oリングシールに比べ、シール接触面積を増大させ、漏れリスクを効果的に減少させる。
3、超高温めっき技術を採用し、チップウィンドウ領域の窒化シリコン膜は高温低応力耐圧耐食性耐照射性などの利点がある。
4、多場結合技術、液相環境中で光、電気、熱、流体の多場結合を実現することができる。
このシステムのチップパッケージは結合内封及びエポキシ樹脂外封二重保険方式を採用し、チップ間の中間層を最も薄く約100 ~ 200 nmだけにし、超薄中間層は電子ビームへの干渉を大幅に減少させ、サンプルの原子配列状況をはっきり観察することができ、液相環境は原子レベル分別を実現することができる。
