クリーンルームダスト粒子計数器クリーンルーム内の空気中の塵埃粒子の数と粒径分布を測定するための機器である。

塵埃粒子計数器は主に医薬、電子、精密機械、カラーパイプ製造、微生物などの業界に用いられ、各種の清浄等級の作業台、浄化室、浄化職場の浄化効果、清浄等級を監視制御し、製品の品質を確保することを実現する。

ダスト粒子計数器動作原理：

空気中の微粒子は光の照射下で散乱現象を発するが、この現象を光散乱と呼ぶ。光散乱は微粒子の体積、光波の長さ、微粒子屈折率及び微粒子の光に対する吸収特性などの要素と関係がある。微粒子散乱光の強度は、微粒子の表面積が増加するにつれて増大する。

ダストパーティクルカウンタのワークフロー：

まず、クリーンルームにおける真空ポンプシステムは、検出すべきガスを所定流量で粒子カウンタレーザヘッドを通過させ、ガス中の塵埃粒子は粒子カウンタにおけるレーザ信号を散乱させ、その中の光学センサにパルス情報番号を受容させ、発生させる。

そして、パルス信号が出力され増幅され、デジタル信号に変換されて処理され、粒子信号と比較することにより、比較結果を異なるパラメータで表す。電気パルスの数は微粒子の数に対応し、電気パルスの振幅は微粒子の大きさに対応する。

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