三元触媒及びその触媒の多くは白金（Pt）、パラジウム（Pd）、ロジウム（Rh）等のレアメタル製であり、高価である。XRFは三元触媒中の白金、パラジウム、ロジウムなどの元素を正確に測定することができ、現場で材料成分の分析情報を迅速に提供し、精度が高く、速度が速く、損失がないなどの利点がある。