真空封管機の一連のシステムは通常、以下のコア部品から構成されている

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Shenzhen Xicheng Scientific Instrument Co., Ltd

日付：2025-06-23読み：0

真空封管機は真空または不活性ガス環境中でガラス管、金属管またはその他の容器を密封するための専用設備であり、電子、材料科学、半導体製造、科学研究実験などの分野に広く応用されている。

真空封管機の一連のシステムは通常、以下のコア部品から構成されています。

一、コア機能部品

1.真空システム

真空ポンプ：負圧環境を提供し、一般的なタイプはスピンチップ式真空ポンプ、拡散ポンプまたは分子ポンプ（真空度要求に応じて選択）を含む。

真空チャンバ：封止されるパイプ部品を収容する密閉空間、通常はステンレス鋼またはアルミニウム合金で作られ、観察窓と封止ドアを備えている。

真空ゲージ：チャンバ内の真空度（ピラニゲージ、熱偶数ゲージ、イオン化ゲージなど）をリアルタイムで監視し、プロセス要件を満たすことを確保する。

空気圧/電動バルブ：真空チャンバと外部との通断を制御し、高速抽気と充填（不活性ガス充填など）をサポートする。

2.加熱パッケージユニット

加熱炉：封管領域を局所的または全体的に加熱し、温度範囲は通常常温~ 1000℃（調整可能）であり、石英管、ガラス管または金属管の溶融封を支持する。

温度制御器：PID温度制御システム、加熱温度と時間を正確に設定し、過熱や閉塞が厳しくならないようにする。

火炎スプレーガン（オプション）：一部の機種には、ガラス管の高温溶融シールに使用する水酸化炎またはアセチレン炎スプレーガンが搭載されている。

3.テーブルとクランプ機構

回転/移動テーブル：シールされるパイプ部品の位置を固定して調整し、マルチステーション連続操作をサポートする。

精密クランプ：異なる管径（例えばΦ1 ~ 50 mm）のクランプ装置を配合し、封管過程における安定性を確保する。

3 D調整ブラケット：パイプピースの角度と高さを微調整し、複雑な閉塞要件に適応する。

二、真空封管機補助機能モジュール：

1.ガス処理システム

不活性ガス充填モジュール：封管前にチャンバまたは管内にアルゴン、窒素などの保護ガスを充填し、酸化や汚染を防止する。

ガス混合装置（オプション）：多種のガスを比例に混合し、特殊な技術需要を満たす。

圧力センサー：空気充填圧力を監視し、内気圧の安定を確保する。

2.冷却システム

水冷または空冷装置：加熱後のパイプ部品を急速に冷却し、熱応力損傷を減少させ、封管効率を向上させる。

熱交換器（オプション）：高温プロセス設計に対して、チャンバの冷却を加速する。

3.排ガス処理ユニット

排気ガス吸着フィルタ：封管過程で発生した揮発性有機物または有害ガスを捕獲する。

真空油脂収集器：真空ポンプ油汚れがチャンバに還流するのを防止する。