XRFエネルギー分散分光器

XRFエネルギー分散分光器はX線蛍光原理に基づいて、高エネルギーX線により試料を励起し、原子内層電子を遷移させ、特徴的なX線蛍光を放出する。その核心部品はエネルギー分散検出器（例えばSDD）であり、同時に多種元素の蛍光エネルギーを検出し、迅速な定性定量分析を実現することができる。この器具は非破壊性、分析速度が速い（最速10秒で多元素検査を完了する）、精度が高い（ppm級に達することができる）などの優位性があり、固体、粉末、液体などの多種のサンプル形態を支持する。冶金成分検査、有害物質スクリーニング（例えばRoHS指令）、地質鉱物分析などの分野に広く応用され、材料科学と工業品質制御の重要なツールである。