金属シリコン粉末（主成分はシリコン、Si）及びその不純物（例えば鉄、アルミニウム、カルシウム、チタンなど）の化学成分分析に対して、多種の器具と方法を使用することができる。次に、一般的な機器と方法の概要を示します。
1.X線蛍光分光器（XRF）
原理：
金属シリコン粉末試料を用いてX線照射下で特徴蛍光を放出し、蛍光強度に基づいて元素含有量を測定した。
特徴：
利点：非破壊、高速、複数の要素を同時に検出できる。
欠点：低含有元素（ppm級）に対する検出感度が限られており、サンプルの調製が均一である必要がある。
サンプル調製：
金属シリコン粉末はシートまたは混合助剤をプレスして均一な粉末に研磨し、測定の正確さを保証する必要がある。
2.誘導結合プラズマ発光スペクトル（ICP−OES）
原理：
金属シリコン粉末を溶解（通常は酸で溶解または溶融）し、溶液を形成した後、プラズマ中に霧化して原子発光特徴光を励起し、スペクトル強度により定量分析した。
特徴：
利点：感度が高く、多種の金属不純物含有量を測定でき、微量分析に適している。
欠点：試料の前処理が複雑で、溶解または溶融処理が必要である。
サンプル調製：
シリコーン粉末は溶解しにくく、アルカリ溶融法（例えばNaOH溶融）または酸分解法（HF+HNO 8323など）を用いて溶液を調製することができる。
3.誘導結合プラズマ質量分析（ICP-MS）
原理：
ICP-OESに類似しているが、質量分析を用いてイオンを検出し、高感度微量元素分析を実現した。
特徴：
利点：検出限界が低く、ppb級不純物を測定できる。
欠点：設備が高価で、サンプル処理の要求が厳しい。
4.誘導結合プラズマ光放出／質量分析前駆法
溶融−酸溶解前処理を結合し、難溶性シリコン粉末を完全に溶液に入れ、ICP測定を行うことがある。
Si、Fe、Al、Ca、Tiなどの不純物を同時に測定することができる。
5.化学滴定法（古典的方法）
原理：
主要不純物元素を溶解した後、滴定反応により定量分析した。
特徴：
利点：操作が簡単で、コストが低い。
欠点：時間がかかり、精度が低く、微量元素の測定が難しい。
6.赤外分光（FTIR）とX線回折（XRD）
FTIR：Si-H、Si-Oなどの官能基を定性的に分析でき、主に酸素含有シリコン粉末の分析に用いられる。
XRD：シリコン粉末の結晶構造（多結晶、非晶質）を確定でき、不純物形態の理解に役立つが、化学成分を直接定量しない。
結論：
金属シリコン粉末の全体的な分析については、通常、XRFを用いて主要元素含有量を迅速にスクリーニングし、ICP-OES/ICP-MSを用いて微量不純物を分析する。
サンプルの前処理（溶融または酸溶解）は重要なステップであり、分析結果の正確性に直接影響する。