分子ポンプ群の最も一般的な故障の一つは真空度が基準を満たしていないことであり、真空計は目標値を常に上回っており、プロセスに必要な高真空状態を達成できないことを示している。この問題を引き起こした原因は主に3つある：1つはシール部品の老化或いは損傷であり、例えばフランジシールリングは長期高温、低温交互に亀裂が発生し、空気漏れを引き起こした、第二に、吸気口または配管に閉塞が存在し、粉塵、プロセス残渣の堆積が気流の流通を阻害する、第三に、分子ポンプ自体の性能が減衰し、ロータブレードが摩耗したり、モータの回転速度が不足したりする。診断時、まずヘリウム質量分析漏れ検出器を用いてシール面を検査し、ヘリウムガス漏れが発見された場合はシールを交換することができる、吸気ダクトを再検査し、圧縮空気で閉塞物をパージまたは分解して掃除する。前の2つの項目に異常がなければ、モータの回転速度を検出する必要があり、必要に応じてロータまたはモータを交換する。

異常騒音と振動も高周波故障であり、運転中に耳障りな音や機体の激しい振動が発生し、設備の寿命に影響を与えるだけでなく、関連部品を損傷する可能性もある。故障の原因の多くは機械的なアンバランスであり、例えばロータの動平衡が破壊され、軸受が摩耗したり潤滑が不足したり、ポンプユニットと台座の接続が緩んだりする可能性もある。診断手順は以下の通り：まず機械を止めて接続ボルトを検査し、トルクレンチで標準トルクで締結する、次にポンプ本体を分解し、ベアリングボールに傷、摩耗がないかどうかを観察し、問題があればすぐに交換し、専用の高温グリースを注入する。軸受が正常であれば、ロータの動平衡校正を行い、回転時の重心安定を確保する必要がある。

また、モータの過負荷トリップ故障もよく見られ、設備の運転中に突然停止し、配電箱内の過負荷保護スイッチがオフになった。この故障は通常、ポンプキャビティ内に異物が入ってロータを詰まらせたり、モータの放熱不良によって温度が高すぎたり、電源電圧が不安定になったりするなど、負荷が大きすぎることによって引き起こされる。検査時、まず電源を切り、ロータを手動で回転させ、カートンがあればポンプ本体を分解して異物を除去する。モータの放熱ファンが破損していないか、放熱通路が塞がっていないかを検査し、部品を適時に整理または交換する。同時にユニバーサルメーターで電源電圧を測定し、設備の定格電圧範囲内にあることを確保し、必要に応じて定電圧装置を装填する。

その故障診断と排除は「まず現象を観察し、再び原因を分析し、最後に正確に処理する」という原則に従う必要があり、同時に定期的に予防的メンテナンスを展開し、例えばシール面を清潔にし、軸受状態を検査し、モータパラメータを校正するなど、初めて故障の発生を最大限に減少させ、設備の長期的な安定運行を保障し、高精度生産と実験に信頼できる真空環境サポートを提供することができる。