真空炉業界におけるダボシ冷水機の応用

しんくうろ不活性ガス（窒素、ヘリウムを主とする）環境において,グラファイトヒータを用いて多結晶シリコンなどの多結晶材料を溶融。転位のない単結晶を直引き法で成長させる装置。真空炉は温度に対してまたその厳格な温度要求がある。例えばろたい加工温度、炉体の温度が有効な制御が得られなければ、炉体は温度が高すぎると変形する。必ず設備の寸法変化に影響し、不合格製品の出現をもたらす、同時に炉体材料は長期にわたって高温で動作し、冷熱ムラは炉体の寿命を低下させ、損失をもたらす。

これには、専門的で安定した冷却水システムが必要です。しんくうろの冷却需要を下げてこそ、炉体設備の正常な動作を維持することができ、炉体設備の温度が高すぎて、設備の変形をもたらし、シリコン結晶の成長に影響を与えることはない。

深センダバシは価値のある冷凍システム工学ソリューションを提供し、複数セットの冷凍ソリューションを提供する-冷水機コア方案解決商シリーズ冷水ユニットは焼結炉、焼鈍炉、拡散溶接炉、熱圧炉、ガス焼入れ炉、ろう付け炉、単結晶炉、等静圧機、焼入れ炉、アーク炉、溶解炉、懸濁炉、プラズマ焼結炉などに適用される。冷房量有10KW-300KWの冷水機は、一体機があってもカスタム分離式冷水機に対応することができます。

しんくうろシステムはオープンサイクルシステムを採用することが多い。システムは循環池、冷却水循環ポンプ、緊急冷却水タンク、プレート式熱交換器などから構成される。システムの中で重要なのは有効容積の大きい循環池を設置する必要があり、この池はシステムが正常に稼働しているときはポンプの吸水池としてしか使用されず、停電などの緊急時には冷水ユニットや冷却塔が停止し、しんくうろシステムが冷媒を提供する時、冷却水循環ポンプは応急電気を備えて仕事を続け、管網及び池内の水を循環し続け、水の比熱がシリコンの比熱より大きいため、循環池内の水を利用してインゴット炉中の高温シリコンの熱を吸収し、それによってインゴット炉の温度を下げ、炉体が停電時に破損したり爆発したりする危険がないことを保証する。循環池の貯水容量の決定、すなわちシステム中のすべての炉体内のシリコン材料を安全な温度に冷却したとき、池中の水の温度は冷却水システムの管網及び設備が耐えられないほど上昇しない。冷却水システムは、しんくうろ循環水ポンプに緊急電源を配置し、この緊急電源は一般的にディーゼル発電機を採用し、ディーゼル発電機が起動する前に炉内に冷却水が流れていることを保証するために、一般的にはしんくうろシステムには高位緊急冷却水タンクが設置されており、この水タンクの水はシステム停電時に、重力流によって炉体を冷却する。循環システムフロー図参照1。

　　 以上がインゴット炉しんくうろシステムの概略説明。プロジェクトの地域によって異なる方法でしんくうろ運転費用を節約するためのシステムの冷媒、インゴット炉冷却水の吸水温度一般的な要件≤30℃であるため、プロジェクト所在地の夏季湿球温度が低い場合、冷却塔を冷媒として採用するだけで、インゴット炉冷却水の入水温度の要求を満たすことができ、プロジェクトの所在地の夏季湿球温度が高い場合、インゴット炉の冷却水の入水温度の要求を満たすためには冷水ユニットに冷媒を供給する必要がある。この2つのシステムについて紹介します。

　 システム1：北西などの夏の湿球温度が低い地域。このような地域の夏の湿球温度は≤24℃、冷却塔の夏季出水温度は≦28℃であれば、冷却塔の出水を冷媒とし、プレート式熱交換器によりしんくうろ水温が下がる≤30℃とすることにより、インゴット炉を満たすしんくうろすいこみおんど≤30℃の要件。しかし、風砂が比較的大きい地域では、気候環境が悪く、一般的な開式塔は風砂の影響を受けやすく、閉式冷却塔を選択するのが適切であることに注意する必要がある。このシステムは省電力性に優れています。

システム2：中南部など夏季の湿球温度が高い地域では、2段プレート式熱交換器で冷却する方式でインゴット用の冷却水を提供することができ、1段プレート式熱交換器の1次側冷源は冷却水（冷却塔で製造）を採用し、2段プレート式熱交換器の1次側冷源は冷凍水（冷凍機で製造）を採用し、冬季と過渡季節は、冷凍機をつけずに冷却塔だけを開き、冷却塔の水を冷媒とする。夏季及び過渡季節には、インゴット炉の冷却水の出水はまず1級プレート式熱交換器を経て熱交換し、水温が一定の幅を下げた後、2級プレート式熱交換器に入り、冷凍水を冷媒としてしんくうろインゴット炉に要求される入口温度まで冷却する。