エネルギーレーザ駆動広帯域光源

Energetiq光源は高輝度、高安定、長寿命幅スペクトル光源であり、革命的な光源技術であるLDLS&;連続レーザを用いてキセノンイオンを必要な温度に直接加熱して広帯域スペクトル光を生成するレーザ駆動光源技術。高信頼性、高性能、高輝度、長寿命などの特徴がある。その製品は広いスペクトル範囲を持ち、スペクトル線は軟X線（SXR）、遠紫外線（EUV）、深紫外線（DUV）を含み、可視光から赤外光領域（IR）までをカバーし、波長範囲は170 nmから2100 nm以上である。電極を持たないLDLS技術は、取得した光源のために少量の高輝度プラズマを生成し、ランプの寿命を延長することができる。

EQ-99 X LDLS白色光源EQ-99 XFC LDLS白色光源

光ファイバ結合コリメート方式高出力フォーカス結合方式

EQ-99 X製品パラメータ：

独自に開発したレーザー駆動光源（LDLS）技術は、連続レーザーを使用してキセノンイオンを必要な温度に直接加熱し、広帯域スペクトル光を生成する。アークランプ、重水素ランプなどの従来の方法を使用して、電極を使用して電源とプラズマを接続すると、ランプの明るさ、紫外エネルギー、使用寿命は非常に限られています。無電極LDLS技術は、深紫外から可視光およびそれ以上を含むスペクトル線を含むスペクトル範囲を含む光源を取得するために少量、高輝度のプラズマを生成し、ランプの寿命を延長することができる。電極レーザ駆動光源技術

？革命的な新技術――連続レーザプラズマ放電

？広スペクトル線、高輝度、170 nmから可視領域を含む2000 nm以上。

EQ−99 X LDLS白色光源の動作原理

パフォーマンスと特長

l-連続レーザプラズマ放電

l-*輝度、波長*は170 nmからすべての可視光及びそれ以上の波長をカバーする

l-ランプ需要の多様性（重水素ランプ、タングステンランプ、キセノンアークランプの代わりに）を解決し、光学系を簡略化する

l-*の空間安定性、繰り返し測定可能

l-極めて短時間、または長い時間で安定したエネルギー出力があり、繰り返し測定可能

l-長寿命、無電極動作、消費コスト低減、光路校正量低減

EQ-99 X LDLS白色光源輝度曲線

EQ-99 X LDLS白色光源の動作寿命