スピンコータ」は、回転遠心力を利用した塗布装置であり、「スピンコータ」とも呼ばれる。平滑な被塗物（ワーク）に対して、薄く均一なコーティングを形成することができる。スピンコータの用途は非常に広く、代表的な用途は半導体ウエハの表面処理、フォトレジスト塗布などのプロセス系工程、及び光学媒体塗膜、レンズ下地剤及び調光液の塗布などである。

• スピンコータ塗布

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1. A.回転体

3. B.被塗物表面

5. C.塗布液

塗布液を被塗物（ワーク）の中心に滴下し、高速回転を行う。回転を速めると塗布液に遠心力がかかり、塗布液が表面全体に拡散して成膜される。塗布膜厚は、塗布液の粘度、被覆物の回転数、回転起動加速度、乾燥速度に関連する排気ガスに依存する。
スピンコーティングの原理は、回転遠心力によって余分な塗布液を被塗布物から振り分けることであるため、実際に成膜する液量は滴下する液量より少なく、材料損失を招く欠点がある。

排気ガスによって乾燥速度を制御し、塗布液が機器の外部に飛び散ることを防止し、異物の混入を回避するために、回転体及び滴下する機構は通常、筐体に収納されたり、表装時に上蓋を閉じるデザインを採用したりする。
設備の基本原理はここ数十年変わっていないが、被覆物の異なるサイズ、重量、材質の装置に適用され、回転速度（速度）制御、自動滴下などの仕様機能など、より多様な発展を遂げている。