残酸素計の測定精度は様々な要因に影響される。センサーの性能は重要な要素であり、異なるタイプのセンサーの精度が異なり、センサーの老化、汚染は測定精度を低下させる。環境要素の面では、温度、湿度と圧力の変化はガスの状態とセンサの動作性能に影響を与え、例えば温度が高すぎるか低すぎると電気化学センサの化学反応速度が変化し、測定偏差を招く、湿度が高いとセンサーが湿気を受け、測定精度に影響を与える可能性があります。ガス流量も測定結果に影響を与え、流量が不安定または機器の要求に合致しないと、センサ内でのガスの反応が不十分または過剰になり、測定誤差を引き起こすことがあります。また、計器の校正状態、サンプリング管路の長さと材質なども測定精度に影響を与え、サンプリング管路が長すぎたり、材質吸着性が強くなったりすると、ガス成分が変化し、測定結果に影響を与える可能性がある。