Pluto-MD（8 L）小型プラズマ脱膠機-ビデオオンライン視聴

脱膠プロセスはマイクロ加工プロセスにおいて重要なプロセスであり、電子ビーム露光、紫外露光などのマイクロナノ加工プロセスの後、フォトレジストを除去または下地膜処理しなければならない。レジストがきれいに除去されているかどうかはサンプルに損傷があるかどうかなどの問題があり、後続技術の順調な完成に直接影響を与える。PLUTO-MD小型ディスペンサーは性能の優れたコンポーネントとソフトウェアを使用して、プロセスパラメータを精密に制御することができる。そのプロセス監視とデータ収集ソフトウェアは厳格な品質制御を実現することができる。この技術はパワートランジスタ、アナログデバイス、センサ、光学デバイス、光電、EMS/MOEMS、生体デバイス、LEDなどの分野。