PLUTO-30（30 L）多機能プラズマ洗浄機-ビデオオンライン視聴

PLUTO-30は研究開発のために設計された全機能プラズマシステムで、13.56 MHz無線周波数発生器と自動整合ネットワーク電源はプロセス領域全体で均一なプラズマを生成する。Pluto 30の真空チャンバは、様々な形状寸法のサンプルを収容するために、最大7個の調整可能なサンプル棚を支持することができる。Pluto 30は複数の電極設定を有し、RIEとPECVDモードに構成することができ、それによってこのシステムの応用範囲を拡大し、ユーザーに良好な柔軟性を提供する。