一、操作前準備（5分で完了、安全第一）

セキュリティチェック：

機器の接地が良好で（漏電を避ける）、電源電圧が定格要求（AC 220 V±10%）に適合することを確認する、

ガス管路（例えばアルゴン、酸素、窒素）が緊密に接続されているかどうかを検査し、漏れがない（石鹸水塗布継手で検査でき、気泡がなければ正常）、

換気ケース（揮発性サンプルを処理する場合）または排気装置を開けて、プラズマ反応による少量のガス汚染環境を避ける。

サンプルの準備：

洗浄すべきサンプル（例えばチップ、ガラス、プラスチック、金属部品）表面の大きな不純物（例えばほこり、油汚れ）を事前に整理（無水エタノールで拭き取ってから乾燥）し、不純物が洗浄効果に影響を与えないようにする。

サンプルをサンプルラックに固定し、サンプル表面に遮蔽物がないことを確保し（プラズマは均一に被覆する必要がある）、そしてサンプルラックを反応チャンバの中心位置に置く（電極に近づかない）。

消耗品と環境確認：

ガスボンベの圧力を検査し（通常0.2-0.5 MPaを保持する必要がある）、ガスが十分であることを確保する、

反応チャンバドアガスケットが清潔で破損がないこと（真空密封効果を保証する）、実験環境に強い振動や粉塵がないこと（機器の運転に影響を与えないこと）を確認する。

二、コア操作手順（手動介入不要のインテリジェント化設定）

起動機器と真空抽気：

計器の総電源を入れ、制御システムを起動し（一部の機種はタッチパネル操作）、「手動モード」または「自動モード」を選択する（初心者は自動モードを推薦し、常用洗浄パラメータを内蔵する）、

反応チャンバーのドアを閉じ、「真空引き」ボタンを押すと、計器は自動的に真空ポンプを起動し、反応チャンバー内の圧力を設定真空度（通常10-100 Pa、サンプルタイプによって調整）に引き出し、抽気が完了すると計器は自動的に提示する（ランプが点灯またはブザーが鳴る）。

ガス流入とパラメータ設定：

洗浄ガスのタイプ（例えば油汚れ洗浄用酸素、表面活性化用アルゴン、複合洗浄用アルゴン+酸素）を選択し、ガス流量（通常10-50 sccm、流量が大きすぎると真空を破壊しやすく、小さすぎるとプラズマ濃度が不足する）を設定する。

洗浄パラメータを設定するには：

出力（50〜300 W、硬質サンプルは高出力、軟質／感熱サンプルは低出力）、

洗浄時間（30秒〜10分、軽度汚染は短時間、深さ洗浄は長時間）、

一部の機種は「分割パラメータ」（低電力前処理、高電力洗浄など）をサポートしており、必要に応じて設定することができる。

プラズマ洗浄を開始するには：

パラメータに間違いがないことを確認した後、「洗浄開始」ボタンを押すと、機器は自動的にフローを実行する：まずガス流量と真空度の安定を維持し、それから無線周波電源を起動してプラズマを発生する（反応チャンバ内に微弱なグローが現れ、正常な現象に属する）、

洗浄中、スクリーンはリアルタイムで真空度、ガス流量、電力、余剰時間などのパラメータを表示し、手動で調整する必要はなく、もし異常（例えば真空度が基準を満たしていない、ガス漏れ）が発生したら、計器は自動的に警報し、停止する。

三、操作後の仕上げ（3分で完成、保護機器+サンプル）

洗浄と圧力流出を停止するには：

洗浄時間が終了すると、機器は無線周波数電源とガスバルブを自動的に閉じ、「圧力放出」の流れに入る（反応チャンバ内に窒素などの少量の不活性ガスを投入し、内外の圧力を平衡させる）、

圧力放出が完了した後（反応チャンバ内の圧力は大気圧に回復）、計器は「操作完了」を提示し、この時初めて反応チャンバのドアを開けることができる。

サンプルの取り出しと検査：

手袋をはめてサンプルを取り出し、サンプルの表面状態を観察する（乾燥しているか、残留がないか、表面張力が上昇しているか、水滴接触角テストを通じて洗浄効果を検証することができる）、

複数のサンプルを連続的に処理する必要がある場合は、「サンプル準備→真空引き→洗浄」を繰り返し、計器の総電源を切る必要はありません。

機器のシャットダウンとメンテナンス：

すべてのサンプル処理が完了したら、ガスボンベバルブを閉じ、「真空ポンプ停止」ボタンを押し、真空ポンプが完全に停止した後（真空ポンプの油戻りを避ける）、計器の総電源をオフにする。

清潔な雑巾で反応室のドアパッキンとサンプル棚を拭き、反応室内の少量の粉塵（あれば）を整理し、器具の清潔を維持し、使用寿命を延長する。

プラズマ洗浄機の操作フローは標準化、知能化され、全過程は「ボタン操作+パラメータ設定」を主とし、複雑な機械調節や化学知識を必要とせず、初心者は10分で基本操作をマスターすることができる。その「複雑さ」は主に「パラメータ選択」（例えば、異なるサンプルが異なるガス、電力、時間に対応する）に現れ、操作手順そのものではない――サンプルの材質（ハード/ソフト、耐温度性）と洗浄目的（油除去、活性化、エッチング）に基づいて適切なパラメータを選択すれば、効率的な洗浄を実現できる。