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Shanghai Peiyuan Instrument Equipment Co., Ltd
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電子科技大学はすでにPLUTO-Tプラズマ洗浄機、PLUTO-MDプラズマ脱膠機など複数のプラズマ設備を購入しており、ユーザーのフィードバックは良好である。

主な用途としては、ウェハフォトレジストの除去、電子半導体サンプルの表面有機物の除去、多機能マイクロナノ構造広帯域吸収器の表面処理などがある。


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