1.コアハードウェア：精度の基礎保障

高剛性工作機械の構造：天然花崗岩、人工花崗岩または航空級合金材料を採用し、このような材料は熱安定性がよく、減衰が大きく、振動と熱変形を減らすことができる。

超精密主軸システム：空気静圧、液体静圧または磁気浮上主軸を備え、主軸回転誤差はナノメートル級に制御され、主軸偏心による加工偏差を回避する。

高精度送りシステム：ボールねじ（プリタイトクリアランス）またはリニアモータを使用して、ラスタスケール閉ループフィードバック（解像度がナノメートル級に達することができる）を組み合わせて、送り運動の位置決め精度と運動平穏性を確保する。

高品質工具とクランプ：ダイヤモンド（PCD/PCBN）などの超硬工具を採用し、切削刃の鋭利度はナノメートル級に達する、クランプ工具（例えば真空チャック、精密チャック）は高い同軸度と低い変形特性を備え、ワーククランプのずれを回避する。

2.環境制御：外部干渉要因の除去

定温制御：加工環境温度は20±0.1 ~ 0.5℃に安定し、工作機械、ワーク、工具が温度変化により熱膨張・冷縮し、寸法偏差を招くことを避ける。

防振設計：工作機械は防振地盤或いは空気ばねに取り付け、地面振動（例えば工場設備の運行、人員の移動）が切削過程に与える影響を遮断する。

クリーン環境：クリーン作業場（通常Class 100～1000級）にあり、粉塵、不純物がワークまたは工具の表面に付着することを減少し、傷や加工誤差を避ける。

3.プロセスと検査：動的最適化と精度閉ループ

精密切削パラメータの最適化：小切削用量（低切削速度、小送り量、浅切削深さ）を採用し、切削力と切削熱を減少し、ワーク変形と工具摩耗を低減する。

リアルタイムモニタリングと補償：レーザー干渉計、クラブ計などの設備を通じて、リアルタイムで工作機械の幾何誤差（例えば直線度、垂直度）と運動誤差を測定し、数値制御システムを通じて動的補償を行う。

オンライン/オフライン検査検証：加工中に接触式プローブ（例えばRenisawプローブ）を用いてオンラインでワークサイズを測定したり、加工後に原子間力顕微鏡、レーザー干渉計などの精密機器を用いてオフライン検査を行ったりして、精度が基準を達成することを確保する。