分析ソリューション-高純ガス中の微量CO、CH 4、CO 2のガスクロマトグラフ法による測定

メソッドの概要：

高純度ガス分析において、微量CO、CH 4、CO 2の分析は重要な地位を占め、本方法はTDX-01カラムを利用して分離を完了し、メタンコンバータはCO/CO 2をCH 4に変換し、水素火炎FID検出器で応答し、0.05 ppmより優れた検出限界濃度指標を得ることができる

実験器具及び標準物：

ガスクロマトグラフG 51（FID検出器）、六方弁＋モジュール化メタン変換器。

データ処理ステーション3091

標準ガス4 L：CO（1 PPM）、CO2 (1PPM)；CH4（1PPM）

空気：オイルフリー空気発生器（XGA-380 A）

水素：高純度水素発生器（XGH-300）

解析条件：

カラム：TDX-01（1 M*1/8 in）

温度条件：カラムボックス100℃、検出器180℃、転化炉360℃

キャリアガス：N 2

カラム流量：30 ml/min、

空気400 ml/min、水素：40 ml/min

テストスペクトル：（高純度水素ガス中の1 ppmのCO、CH 4、CO 2成分）

測定指標：（ピーク高単位mv、ピーク面積単位mv・S）

この分析条件下でベースライン騒音は2 uv未満で、再現性、安定性は良好で、CO、CH 4、CO 2の3つの成分の検出限界濃度はいずれも0.05 ppmより優れていて、幅広いレンジFID検出器を配置したG 51 Proシリーズガスクロマトグラフィーを用いて、検出限界濃度は簡単に0.02 ppmに達することができ、それらの高価な検出器PDHIDヘリウムイオン放電検出器、EPDプラズマ放電検出器、DIDアルゴンイオン放電検出器などに比べて、通常型汎用検出器FIDを用いて高純ガス中の微量成分CO、CH 4、CO 2の分析は、資金投入が少ないだけでなく、メンテナンスが簡単で、運行効率が高く、高純ガス分析ソリューションのもう一つの重要な突破である。