本装置は3ω試験方法を用いて、マイクロ/ナノフィルム材料の熱伝導によるヒータ電気信号の変化を利用してその熱伝導率を測定する。
主な応用範囲はマイクロ/ナノフィルム材料の熱伝導率測定であり、各種機能を補助するフィルム材料の研究と開発に広く応用できる
発、そのカバー範囲は高等大学及び科学研究院所、集積回路放熱材料、航空宇宙材料、熱電材料とデバイス、
情報ストレージと光電デバイス。