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超清浄オーブンコアの定義と機能
日付:2025-08-08読み:1
  超清浄オーブンコア定義と機能解析:
一、コア定義
  超清浄オーブン高温制御と空気浄化技術を集積した専用設備であり、その核心機能は閉鎖式空気循環システムと高効率濾過技術を通じて、高温環境下で内部の高い清浄等級(例えばClass 100、Class 1000)を維持し、焼成過程の塵、無菌、化学汚染がないことを確保する。その設計目標は精密製造、生物医薬など環境清浄度に要求の高い業界に制御可能な乾燥と熱処理環境を提供することである。
二、コア機能と技術特徴
高温浄化環境制御
密閉式空気循環:箱内空気は耐高温モータによって強制循環され、初期効果、中効果、高効率(HEPA)の三段階ろ過システムによって繰り返し浄化され、ろ過効率は99.995%(0.3μm粒子)に達し、内部清浄度がISO 14644-1標準(例えば、Class 100は立方フィート空気中≦100個≧0.5μm粒子に対応)に適合することを確保する。
温度均一性:PIDインテリジェント温度制御システムと水平環流ダクト設計を採用し、温度変動≦±1℃、均一性≦±2%で、半導体、光学デバイスなどの温度感受性材料の加工需要を満たす。
材料と構造の最適化
内胆の材質:全鏡面ステンレス鋼(例えば316 L或いはSUS 304)内胆、表面粗さRa≦0.4μm、粒子の付着を減少し、腐食に耐え、且つ清潔にしやすい。
外殻と保温:冷間圧延鋼板の射出成形或いは全ステンレス鋼外殻、100-150 mm厚ケイ酸アルミニウム繊維保温層を組み合わせ、断熱性能が優れ、表面温度≦環境温度+5℃である。
安全と防護設計
超温保護:独立した超温警報装置と停電保護機能により、温度異常による材料損傷や設備故障を防止する。
防爆構造:モータ、変圧器などの揮発性物質のベーキングシーンに対して、圧力放出安全ドアと防爆装置を備え、操作の安全を確保する。
カスタム拡張機能
窒素ガス保護:窒素ガスの輸出入を選択的に配合でき、不活性ガス雰囲気のベーキングを実現し、酸化を防止する(例えば金具の熱処理)。
差圧監視:輸入差圧計はHEPAフィルタの状態をリアルタイムに監視測定し、フィルタ効率の安定を確保する。