小流量デジタルガス質量流量計及び制御装置

小流量デジタルガス品質流量計とコントローラは精度に対してより高い需要がある顧客に計量レベルの精度（±0.5%示度精度）を提供し、製品内蔵の圧力、温度センサの正確な補償とコアアルゴリズムを通じて、低零点、温度、圧力ドリフト量においてより高い性能を示した。同時に、内蔵4種類のモード温度（0℃、15℃、20℃、25℃）を選択でき、リアルタイムで温度、圧力、モード流量、モード流量、累積流量の5つのパラメータを表示する。

小流量デジタルガス質量流量計及び制御装置特徴：

l原理：層流圧差式原理

l便利な操作：タッチパネルクリック操作、流量読み取り、または上位機ソフトウェア操作を提供することができる。

l核心優勢：高精度、高繰り返し性、快速応答

l広い温度、広い圧力の適用範囲：-20℃~ 60℃、1 Mpa以内

lリアルタイムに5種類のプロセス変数を表示する

l 70+種類のガスを内蔵し、ワンタッチでガスを自由に切り替え、係数を検索、入力する必要がない

l混合ガスを測定でき、混合ガス編集機能を設置する

l予熱時間がなく、電源を入れて使用でき、プラグアンドプレイできる。

製品仕様：

l製品型番：

S 200-タッチパネル付き高精度流量計、タッチパネル操作でデータを読み取ることができ、作業状況の現場での使用に便利で、パソコンが必要なく、携帯電話のように便利である。

lレンジ範囲：0.5 sccm ~ 5000 slpm

パフォーマンスパラメータ：

l精度：±0.5%RD

l繰り返し精度：±0.1%F.S.

l圧力ドリフト：Zero：≤±0.2%F.S./100 Kpa、Span：≤±0.2%F.S./100 Kpa（基準100 KPa（絶圧））

l温度ドリフト：Zero：≦±0.02%F.S./℃、Span：≤±0.02%F.S./℃（基準温度20℃）

l零点ドリフト：±0.2%F.S.

l作業範囲：1%~ 120%F.S.

l応答時間：100 ms

l起動予熱時間：1 s

使用条件：

l媒体温度：-20℃~ 60℃

l環境温度：-20℃~ 50℃

l使用湿度：0%~ 98%（凝縮なし）

l作動圧力：0 ~ 1 Mpa

l耐圧：1.5 Mpa

l圧損：4 kPa ~ 12 kPa

l給電電圧：24 V±20%

l消費電流：＜150 mA（＜5 V）

l取付方式：任意角度

lエアジョイント部材質：SUS 304、SUS 316 L

l出入口：パイプねじ（雌ねじ）

l接合部シール材質：ゴムリングシール：フッ素ゴム

通信方式：

lデジタル信号：RS 485、Profibus

lアナログ信号：4-20 mA、0-5 V

適用シーン

l流量標準台の標準表、流量校正台の比較、量値伝達、実験室設備の流量校正など

l希ガスの局所又は全体システム流量使用量の監視、貿易決済等

特徴はタッチパネル付きでパラメータを直接読み取ることができ、高精度モード環境下の流量測定需要を満たし、流量校正、計量などのモードシーンに適している。