青島芯笙は最近、複数のガス品質流量計と品質流量制御器製品を発売し、MEMSチップから流量検出計器とアルゴリズムまでの全チェーンコア技術の打通に成功し、青島市で唯一のMEMSコアチップ技術を掌握するハイテク企業の一つとなった。

国の国産計器と半導体設備への重視と支持に伴い、国内分析計器産業、半導体装備産業は急速な発展を実現した。分析機器と半導体装備の中核部品として、ガス質量流量計/コントローラは現在も輸入を主としており、国産化の代替需要が差し迫っている。従来の差圧、渦街などの原理の体積型流量計と異なり、MEMSガス質量流量計は熱伝導原理に基づいてガス質量流量を高精度に測定し、このタイプの製品は温度や圧力などの環境パラメータの影響を受けない。

青島芯笙S 500シリーズガス質量流量制御器、*のガス流路設計を有し、柔軟な分流比配置を実現でき、レンジは1 sccm ~ 120 slmをカバーし、最小制御精度は0.1 sccm、0 ~ 50℃温度範囲ドリフト量はわずか0.4 ~ 0.6%である。電気信号の面では、多種のデジタルとアナログ制御方式を提供し、工業級のディスプレイを備え、顧客の現場での調整と配置を容易にする。