-
メール
panyue@sourcescn.com
-
電話番号
13475860763
-
アドレス
山東省青島市黄島区峨眉山路396号光谷ソフトウェアパーク57号棟501
青島森泉光電有限公司
エアフロート防振プラットフォームの科学的使用技術の共有
日付：2025-10-23読む:0
精密光学実験、走査プローブ顕微鏡（SPM）、電子顕微鏡、ナノインデンテーション、レーザー干渉測定及び高精度計量の分野では、振動はデータの正確性に影響する鍵である。エアフロート防振プラットフォームは圧縮ガスを利用してプラットフォームとベースの間にミクロン級のエア膜を形成し、地上、設備または人が歩く低周波振動（1-30 Hz）を効果的に隔離し、精密機器に安定した環境を提供する。しかし、その性能の発揮は正確な取り付けと操作方法に大きく依存している。空気浮遊防振プラットフォームの科学的な使用技術を身につけることは、それを制御する鍵である。
一、環境選択
プラットフォームは大型機械、エレベーター、空圧機などの強振動源から離れた実験室領域に置くべきである。地面はしっかりしていて、平らで、明らかな傾斜がありません。直射日光やエアコンの吹き出し口からの直接の吹き出しを避け、温度勾配による空気の乱れを防止する。周囲に十分な操作空間があることを確保し、気道接続と機器配置を容易にする。
二、水平調節
高精度水準器（インデックス値≦0.02 mm/m）を用いてプラットフォーム底部の調整可能な脚部を調整し、テーブル面がX、Y方向に正確なレベルに達するようにする。水平偏差が大きすぎると気膜の厚さが均一にならず、浮上高さと防振効果に影響し、さらにプラットフォームの片側接触台座をもたらした。
三、気源準備
エアフロートプラットフォームは清浄、乾燥、安定した圧縮空気（通常圧力は0.4〜0.7 MPa）が必要である。不純物が微小気孔を塞いだり圧力変動を起こしたりするのを防止するためには、3段フィルタ（水抜き、油抜き、塵埃除去）と定圧弁を備えなければならない。潤滑油が精密な表面を汚染しないように、無油空圧機を使用することをお勧めします。
四、ロードと分布
計器を置く時、総重量がプラットフォーム定格積載能力を超えないように確保する。機器はできるだけ中央に配置し、偏荷重によるプラットフォームの傾斜を避けるべきである。重型設備は中心区域に置くべきで、軽量付属品は周囲に分布し、品質分布の均衡を維持する。
五、起動と浮上
まずガス源を開き、ゆっくりと吸気バルブを開き、プラットフォームを設計浮上高さ（通常5～20μm）まで安定的に上昇させる。プラットフォームが安定して浮遊しているかどうか、揺れや局所的な接触がないかどうかを観察します。プラットフォームが安定したら（約1〜2分）、精密機器を再起動して測定する。
六、運行維持と安全
実験が終わったら、まず計器の電源を切ってから、ゆっくりと気源を放出して、プラットフォームを安定して着陸させます。
定期的にガス路継手から空気漏れがないかを検査し、フィルタカートリッジを清掃する、
メサ面は清潔に保ち、金属屑や液体が気孔に流入しないようにする、
プラットフォーム上でのノック、穴あけなど衝撃を与える操作は厳禁です。