原理から実践まで：TMC受動防振製品の紹介

最初の3編の内容では、振動と防振の「ベール」を徐々に明らかにした：まず振動が精密設備の「隠れたキラー」であることを認識し、それからVC曲線を通じて環境振動の「健康診断」方法を把握し、最後に受動防振の原理と重要なパラメータを深く分解した。理論の価値は結局実践に落ちなければならない。今日はTMCの核心受動防振製品に焦点を当て、これらの「振動フィルタ」がどのように防振原理を確実な安定に変換し、異なる場面での精密設備のために護衛するかを見てみよう。

「低固有周波数＋精密減衰制御」という受動防振の核心設計ロジックに基づいて、TMCは多種類の減衰等級の空気浮遊防振器を対象に研究開発し、それぞれ半導体、光学、生命科学などの高精密分野の異なる防振需要に対応した。ナノメートル級のリソグラフィ技術であれ、ミクロン級の細胞観測であれ、原子級の表面分析であれ、TMCはカスタマイズされた防振ソリューションを提供することができる。

1、Gimbal Pistonエアフロート防振器-高性能防振好ましい

コアテクノロジー：ふくきしつ低剛性空気ばね+精密減衰孔設計

下図TMC社のGimbal Pistonを展示 アイソレータの断面図。2気室設計を採用し、2気室の間は精密な穴でつながっている。ピストンが上下に運動すると、空気の流れが小孔を通って減衰力を発生し、大変位強減衰、小変位弱減衰のインテリジェントな調節を実現し、急速な安定を保障するだけでなく、小振幅振動に対する隔離効果にも影響しない。このような防振器は、約数ミリメートル変位スケールでは、減衰係数Q≒3である。

TMC標準エアフローティングプラットフォームすべて用ジンバル ピストン®エアフロート防振器は標準として配置されている。並列テストでは、Gimbal Pistonのパフォーマンスは他のものよりも優れています。エアフロート防振器すべての軸において優れた低周波防振性能を持ち、非常に低い入力励振レベルでも性能仕様を維持することができます。独自の制振技術によりGimbal Pistonは上下軽量のペイロードを安定させ、防振テーブル面の干渉を迅速に除去することができる。

それはわずかな減衰特性を持ち、典型的な低振幅環境の地面振動に対して高い応答性を持ち、深刻な過渡的干渉（例えば突然の荷重変化や天板衝突）に対して、非常に良い制振効果を実現することができる。その結果、Gimbal Piston防振器は防振効果を提供でき、ほとんど数秒以内にいかなる深刻な干渉も除去できることが分かった。また、防振効果に影響を与えることなく、比較的重心の高い防振システムを安定させることもできます。

利点：

2 Hzからの垂直水平防振

10 Hzで振動げんすい95%以上

ほとんど摩擦がなく、転がり摩擦の静摩擦への移行を回避

ユニバーサルジョイントとして機能することにより水平変位を調整する

2. マックスダンプ 高減衰防振器：共振と摂動の「二重」守り直す”

TMCのMaxDampアイソレータは異なる方法を採用する：多軸粘性流体減衰。このアイソレータは、アイソレータの単一ガス室内に密封された極めて低ガス放出、高粘度の合成油を使用する。特殊な幾何構造により、アイソレータが垂直方向と水平方向（X方向とY方向）を同じ効率で減衰できることを保証します。これらのアイソレータは、この特性を必要とするアプリケーションを満たすために、減衰を臨界レベルに近づけることができます。MaxDampアイソレータにより、テーブル運動後のペイロードを非常に迅速に安定させることができ、同時に顕著な振動分離効果を提供することができる。「高減衰設計」により、共振抑制と防振効率の間に完全なmei平衡が見つかった。高速で安定した有効荷重を必要とする高力、高速XY電動テーブルの有効荷重に適している。例えば半導体検出、リソグラフィ装置、およびその他の比較的高い力を有する電動テーブルの装置。

利点：

安定化時間の短縮

LCDと半導体製造・検出ツールの生産性が速く、生産性が高い

防振面は「より硬く」、手触りはより安定し、同時に高い防振性能を維持する

気流、騒音及び「機上」力による振動を効果的に抑制する

より優れた安定性とより高い負荷能力

モジュラー設計で、Electro-Dampアクティブ防振にアップグレード可能

3.UltraDamp超高減衰空気浮遊防振器

TMCはさらに減衰の強いUltraDampも発売エアフロート防振器高力、高速XY電動テーブルなどの高動的負荷シーンに適している。減衰レベルは共鳴増幅が3-5 dBを超えないことを確保し、LCD、PVC検出、フォトリソグラフィなどの設備に広く用いられている

利点：

セルフレベリングGimbal Pistonを組み合わせた™空気防振器は極めてアクティブな減衰作用を持つ利点がある

ロボット運動や電動テーブルを備えたペイロードに最適で、必要な防振を提供し、能動的にペイロードを安定させることによる運動

より高速なツールスループットとより高いスループット

4−5 Hzからの水平および垂直防振

共振の最小増幅（3−5 dB）モジュール化設計。Electro-Dampアクティブ消振にアップグレード可能

性能対比：GimbalPiston®、MaxDamp®およびUltraDamp™3つの防振器の防振効率と減衰レベルの比較：

以上はTMCの3種類の減衰レベルのエアフローティングセパレータであり、応用分野によって、TMCは多種の規格のエアフローティングセパレータを提供する選択。

1. Micro-gシリーズリンク支持システム

Micro-gサポートシステムは光学プラットフォームとパンボードの大部分に適用され、高さ、負荷、防振性能などを含むさまざまな構成オプションを提供することができます。

l 理想的な組み合わせCleanTop光学プラットフォームとパンボード

l 4カラム/6カラムシステムオプション

l 3つのダンピングレベルの柔軟なアップグレードをサポートする互換性のあるモジュラー型防振設計

l 荷重能力-ワークベンチと機械搭載装置の重量に応じて、荷重能力が1400、4000、6000、10000または15000ポンド（それぞれ600、2000、3000、4500または7000 kg）のサポートシステムを選択できます。カスタムシステムは、ほとんどの構造をサポートするために標準コンポーネントから構成することができます。

l さまざまな標準高さを選択可能、カスタマイズをサポート-7つの標準高さ：12、16、18、22、24、28、32インチ（それぞれ30インチ）5、406、457、559、610、711和13ミリ）-地上からメサまでの人間工学的距離は36インチ（900ミリ）。

l オプションのキャスター-キャスター-TMCのオプションキャスターは、設置されたテーブルを簡単に移動できる頑丈で耐久性の高い大型設計を採用しています。テーブルが位置決めされた後、キャスターが後退して、設備の操作中に地面にしっかりと接触します。他のMicro-g機能と同様に、最初からデバイスに統合することも、アップグレードを選択した場合は後で購入することもできます。キャスターは最小荷重能力の支柱の上で外部から後退し、中荷重能力の支柱の上で内部から後退し、最高荷重能力の支柱はキャスターがない。高さ18インチ未満の支柱はキャスターなし。

2. Micro-gシリーズ独立脚

l 梁を組み合わせずに独立して取り付け、より柔軟な位置決め

l 負荷能力は500 kgと1000 kgを選択でき、荷重能力がより強い

l 防振モジュール化、3種類の減衰レベルを選択可能

l 標準配置超大寸法鋼製平坦基板

l 各種標準高さオプション（305/406/457/559/610/711/813 mm）

l 伸縮キャスターと互換性がありません

3. 適用デバイス内部のMicro-gエアフロート防振器

62シリーズのエアフロート防振器はモジュール化、交換可能、アップグレード可能な設計を採用し、OEM応用の理想的な選択である。

l OEMアプリケーション向けに設計

l サポート90 kg～8200 kg（200～18000ポンド）の範囲のペイロード

l 静かな環境でも高いレベルの振動減衰性能を提供

l マルチレベルダンピングを選択可能

l 複数バージョンの高さ制御

l 防振器の設計は互換性がある。ニーズの変化に容易に対応し、再設計コストを削減

標準モデル選択表：

TMCを選択：本土製造から中国サービスまで、全コースを護衛

米国本土で光学プラットフォームと防振器を生産するサプライヤーとして、TMCは「設計、研究開発、製造の一体化」の優位性により、エンドユーザーに高度に柔軟なカスタマイズ方案を提供することができる。基礎研究から工業生産、ライフサイエンスから半導体製造まで、TMCの製品はすでに世界数千人の実験室や工場で自分の価値を証明している。

森泉光電有限公司は、中国におけるTMCの指定代理店として、2009年から顧客に信頼性の高いTMC製品とソリューションを提供し続けている。私たちは製品を提供するだけでなく、技術サポートと完全なアフターサービスを提供し、現場振動テストからシステム方案設計、インストール調整からメンテナンスアップグレードまで、私たちはいつもお客様と同行して、共同で振動制御の難題を解決しています。

TMCを選ぶということは、あなたの精密設備のために静かさと安定を選んだことです。私たちはあなたの科学研究の発見と技術の突破のために「振動妨害ゼロ」の作業環境を構築してあげましょう。

振動の問題に悩んでいる場合や、設備の安定性をさらに向上させたい場合は、いつでもご連絡ください。デルの技術チームは、プロの振動解析と高いコストパフォーマンスのソリューションを提供します。

受動防振は多くのニーズを満たすことができますが、超精密製造、ナノスケール測定の最前線分野では、よりインテリジェントなソリューションが必要です。次の号では、アクティブ防振技術を深く紹介します。お楽しみに！