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シリコン光検出器の分類
日付:2025-11-22読む:0
  シリコン光検出器シリコン材料に基づく光電変換装置であり、その核心原理はシリコンの光電効果を利用して光信号を電気信号に変換することである。
動作原理:
光吸収:光がシリコン光検出器に照射されると、光子エネルギーはシリコン材料に吸収される。
電子励起:吸収された光エネルギーはシリコン中の電子をエネルギーバンド中の伝導バンドに励起し、電子正孔対を形成する。
キャリア分離:シリコンは半導体特性を持つため、電子と正孔は印加電界によって分離される。
電流発生:分離した電子と正孔は電界の作用の下で導体に沿って電流を形成し、外部回路の電極に接続することによって、光電変換過程によって発生した電流信号を測定することができる。
  シリコン光検出器構造や動作原理によって、主に次のようなタイプに分類されます。
光伝導検出器:半導体材料の光伝導効果を利用して作製した。電圧が検出器を通過すると、入射光子はキャリアを生成し、印加された電界によって走査されてデバイスの終端に伝達される。金属−半導体−金属(MSM)検出器は光伝導検出器の中の構造であり、低容量特性を持ち、伝送速度が速く、300 GHzに達する。
PIN検出器:シリコン光が現在最も多く応用されている構造である。検出器の片側はp型(Positive)、もう一方の側はn型(Negative)、P型とN型は重ドーピングであり、固有領域(Intrinsic)にはドーピングや低ドーピングはない。PIN型構造は固有領域に内蔵電界を作成し、光は固有領域で吸収され、電子-正孔対を生成し、電界の作用下で、電子はN領域にドリフトし、正孔はP領域にドリフトし、それによって光電流を生成する。PIN検出器は0 Vでも応答度を持つが、通常は応答度を最大限に高めるためにもう1つ逆バイアス電圧が印加される。
アバランシェ検出器(APD):光伝導検出器とPIN検出器の最大応答度はいずれも吸収層材料のバンドギャップ幅に制限される。アバランシェ検出器はアバランシェ利得によって量子効率を高め、キャリアが高エネルギー運転中に衝突すると追加の電子-正孔対が発生し、この反応が絶えず発生し、発生したキャリア数が急増する。アバランシェ光検出器では、キャリアが発生する光電流はアバランシェが発生するキャリアによって何倍も増幅される。

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