マイクロ波真空高温炉はマイクロ波マフラー炉の加熱原理に基づいて、そして真空高温炉の設計技術を結合して、形成した新式材料高温製品であり、マイクロ波高温急速加熱と真空環境処理の2つの優位性を両立して、真空システムの設計思想の違いによって、箱体式真空と器具式真空に分けられて、前者は通常マイクロ波真空高温炉構造であり、後者は通常マイクロ波真空高温管式炉構造である。