PTLQシリーズガス冷凍機製品の応用

PTLQシリーズガス冷凍機はガスの降温と冷却に用いられ、昇温と恒温制御を選択することもできる。ガスは通常、乾燥した圧縮空気や窒素、アルゴンなどの不活性ガスである。吸気温度は常温でも高温でもよく、ガス冷凍機を経て目標低温に下がる。ウェハ試験用冷却ステージへの応用については、ガス冷凍機は従来の液冷に比べて使い勝手、安全衛生、低コスト、異臭のないなど、多くの利点がある。お客様はガス処理の流量と温度に基づいて設備を選択することができます。システムは主に冷凍システム、熱交換システム、制御システム、箱体などから構成される。冷凍システムは蒸気圧縮式冷凍を採用し、圧縮機及び主要冷凍部品はすべて国際ブランドを採用している。熱交換システムは高効率熱交換器、接続管路、保温などからなる。制御システムはシーメンスPLC、適応PID制御アルゴリズムを採用し、異なる使用環境と負荷に直面し、パラメータを変更する必要はなく、最適な温度制御を実現することができる。高精細タッチスクリーン表示、完全な安全保護措置、システムの安全運行を確保するための多種の安全保護メカニズムが設置されている。携帯APP上でデータ、アラーム情報、遠隔操作を遠隔で見ることができるコントローラのIoT、冷却量回収装置を選択的に配置し、エネルギー効率を高め、低温凝縮水を回避し、機械自身の冷却を通じて、装置内に入った乾燥ガスを冷却及び恒温処理し、技術条件の要求を満たすことができる。